[实用新型]一种碳化硅单晶生长炉用籽晶位测量装置

说明书

本实用新型公开了一种碳化硅单晶生长炉用籽晶位测量装置，涉及碳化硅单晶生长技术领域；测量板的底部安装有限位板，测量板的外表面设置有刻度线层，测量板活动连接在数显式测量滑套上的测量槽内，且数显式测量滑套上安装有显示屏，数显式测量滑套的后端连接有锁紧螺栓，且锁紧螺栓的头部与数显式测量滑套的后侧壁相接触，数显式测量滑套的后端安装有导向套，滑杆活动连接在导向套的导向孔内，卡接式滑套上开设有调节槽；本实用新型能够实现快速固定与调节，便于准确的测量，稳定性高，操作简便；节省了测量的时间，同时方便手持，结构简单，同时提高了效率，减少了由于观察习惯不同造成的人为读数误差，保证了准确性。

技术领域

本实用新型属于碳化硅单晶生长技术领域，具体涉及一种碳化硅单晶生长炉用籽晶位测量装置。

背景技术

现有的碳化硅单晶生长炉需要通过测量装置来测量籽晶位置，而现有的测量装置为采用直尺测量，其测量时准确度低，浪费时间。

发明内容

为解决现有的测量装置为采用直尺测量，其测量时准确度低，浪费时间的问题；本实用新型的目的在于提供一种碳化硅单晶生长炉用籽晶位测量装置。

本实用新型的一种碳化硅单晶生长炉用籽晶位测量装置，包括测量板、限位板、数显式测量滑套、锁紧螺栓、滑杆、卡接式滑套、固定螺栓、防滑把手、导向套；测量板的底部安装有限位板，测量板的外表面设置有刻度线层，测量板活动连接在数显式测量滑套上的测量槽内，且数显式测量滑套上安装有显示屏，数显式测量滑套的后端连接有锁紧螺栓，且锁紧螺栓的头部与数显式测量滑套的后侧壁相接触，数显式测量滑套的后端安装有导向套，滑杆活动连接在导向套的导向孔内，卡接式滑套上开设有调节槽，两个卡接式滑套通过调节槽活动连接在滑杆的两侧，卡接式滑套的上端连接有固定螺栓，固定螺栓的头部与滑杆相接触，卡接式滑套的下端开设有卡接槽体，滑杆的两端均安装有防滑把手。

作为优选，所述数显式测量滑套的上端安装有提拉柄。

作为优选，所述防滑把手的外侧壁上套接有防烫套，防烫套的外侧壁上开设有数个槽体，槽体内安装有防滑条。

作为优选，所述限位板为圆形或矩形限位板。

作为优选，所述滑杆为矩形杆体。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

一、能够实现快速固定与调节，便于准确的测量，稳定性高，操作简便；

二、节省了测量的时间，同时方便手持，结构简单，同时提高了效率；减少了由于观察习惯不同造成的人为读数误差，保证了准确性。

附图说明

为了易于说明，本实用新型由下述的具体实施及附图作以详细描述。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中数显式测量滑套的俯视图；

图3为本实用新型中卡接式滑套的侧视图；

图4为本实用新型中防滑把手的结构示意图。

图中：1-测量板；2-限位板；3-数显式测量滑套；4-锁紧螺栓；5-滑杆；6-卡接式滑套；7-固定螺栓；8-防滑把手；9-导向套；31-显示屏；32-测量槽；61-卡接槽体；62-调节槽；81-防烫套；82-防滑条。

具体实施方式