[实用新型]一种带有真空度监控结构的活塞环真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种带有真空度监控结构的活塞环真空镀膜机，包括机体、蒸汽熔炉和真空泵，所述机体、蒸汽熔炉和真空泵的下表面固定安装有底座，所述机体的右侧壁固定连接有支架，所述支架的内壁固定连接有固定杆，所述固定杆的外表面套设有升降板，所述升降板的下表面固定连接有滚轮套，所述机体的下表面固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有转轴，所述转轴的顶端固定连接有空心置物板，所述机体的内部开设有空腔，所述空腔的顶壁转动连接有竖杆，所述空腔的内壁固定连接有隔板和导热板，所述空腔的下表面活动穿插有活塞杆，通过一系列结构的设置使得本装置能够便于进行均匀的镀膜，且能够使装置更加稳定。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种带有真空度监控结构的活塞环真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。

目前现有的真空镀膜机，结构简单，在真空镀膜机在工作时由于其配备的真空泵及蒸汽熔炉工作，会使真空箱处于震动的状态，在长时间震动时，容易使真空镀膜机发生位置偏移，导致活塞环上方存留的镀膜液被甩出，导致镀膜不均匀，次品率较高，为此我们提供了一种带有真空度监控结构的活塞环真空镀膜机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种带有真空度监控结构的活塞环真空镀膜机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带有真空度监控结构的活塞环真空镀膜机，包括机体、蒸汽熔炉和真空泵，所述机体、蒸汽熔炉和真空泵的下表面固定安装有底座，所述机体的右侧壁固定连接有支架，所述支架的内壁固定连接有固定杆，所述固定杆的外表面套设有升降板，所述升降板的下表面固定连接有滚轮套，所述机体的下表面固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有转轴，所述转轴的顶端固定连接有空心置物板，所述机体的内部开设有空腔，所述空腔的顶壁转动连接有竖杆，所述空腔的内壁固定连接有隔板和导热板，所述空腔的下表面活动穿插有活塞杆。

优选的，所述机体的上表面开设有进料口，所述进料口的外表面铰接有密封门，且所述密封门的下表面设置有与进料口相匹配的密封条。

优选的，所述升降板和所述支架之间固定连接有第一弹簧，且所述升降板的上表面固定连接有提手。

优选的，所述滚轮套的内壁转动连接有转杆，所述转杆的外表面固定安装有滚轮，所述滚轮位于空心置物板的正上方。

优选的，所述机体的底壁开设有两个对称的储料槽，且储料槽的背面设置有出料管。

优选的，所述转轴的外表面和两个所述竖杆的外表面均通过传动轮传动连接有传送链，所述传送链位于隔板的上方。

优选的，所述竖杆的外表面固定安装有摩擦内环，所述隔板和所述导热板之间固定连接有摩擦外环，所述摩擦内环和所述摩擦外环紧密贴合，且所述导热板的外表面开设有导热孔。

优选的，所述活塞杆的顶端固定连接有密封圈，所述密封圈和所述空腔之间固定连接有第二弹簧。

优选的，所述活塞杆延伸至底座的下表面，且所述活塞杆的底端固定连接有防滑板，所述底座的下表面活动安装有万向轮。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.通过滚轮的设置，能够对活塞环上进行碾压，使位于活塞环上方的镀膜液均匀的与活塞环紧贴，起到均匀镀膜的作用。