[实用新型]一种靶材孔位检具有效
申请号: | 202121856817.0 | 申请日: | 2021-08-10 |
公开(公告)号: | CN215373768U | 公开(公告)日: | 2021-12-31 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;李佳奇 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | G01B5/00 | 分类号: | G01B5/00 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 靶材孔位检具 | ||
1.一种靶材孔位检具,其特征在于,所述靶材孔位检具包括检具主体和检具插销;
所述检具主体的边缘设置有限位环和检测钉;
所述检测钉的数量和排布与靶材标准孔位的数量和排布相适应;
所述检具插销包括插销柄和分别设置于所述插销柄两端的第一插销头与第二插销头;
所述第一插销头的直径小于靶材标准孔径;
所述第二插销头的直径大于靶材标准孔径。
2.根据权利要求1所述的靶材孔位检具,其特征在于,所述限位环上还开设有至少1个观察槽。
3.根据权利要求2所述的靶材孔位检具,其特征在于,所述观察槽的深度与限位环的高度之比为(1-2):1。
4.根据权利要求1所述的靶材孔位检具,其特征在于,所述限位环的高度为6-10mm。
5.根据权利要求1所述的靶材孔位检具,其特征在于,所述检测钉的高度为4-6mm。
6.根据权利要求1所述的靶材孔位检具,其特征在于,所述检测钉的直径为4-6mm。
7.根据权利要求1所述的靶材孔位检具,其特征在于,所述插销柄的直径为14-16mm。
8.根据权利要求1所述的靶材孔位检具,其特征在于,所述第一插销头的长度为5-5.5mm。
9.根据权利要求1所述的靶材孔位检具,其特征在于,所述第二插销头的长度为5.5-6mm。
10.根据权利要求1所述的靶材孔位检具,其特征在于,所述检具主体的直径为400-425mm。
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