[实用新型]一种离子注入机晶圆红外实时测温系统有效
| 申请号： | 202121863022.2 | 申请日： | 2021-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN215771060U | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 张建圣;何伟 | 申请（专利权）人： | 和舰芯片制造（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 陈黎明;李红萧 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 机晶圆 红外 实时 测温 系统 | ||
1.一种离子注入机晶圆红外实时测温系统，其特征在于，包括：
处理腔室，所述处理腔室内被注入离子；
晶圆处理机，所述晶圆处理机包括臂盖，所述臂盖上设置有臂腔室和臂窗口，所述处理腔室内的所述离子被注入到所述臂腔室内，所述晶圆在所述臂窗口上移动；
温度传感器，所述温度传感器安装在所述臂盖上；以及
控制器，所述控制器与所述温度传感器通信。
2.根据权利要求1所述的离子注入机晶圆红外实时测温系统，其特征在于，所述臂腔室设置为2个或多个。
3.根据权利要求1所述的离子注入机晶圆红外实时测温系统，其特征在于，所述温度传感器安装在所述臂盖的中部。
4.根据权利要求3所述的离子注入机晶圆红外实时测温系统，其特征在于，所述温度传感器是红外温度传感器。
5.根据权利要求1所述的离子注入机晶圆红外实时测温系统，其特征在于，所述控制器包括界面、工控机以及故障检测与分类装置。
6.根据权利要求1所述的离子注入机晶圆红外实时测温系统，其特征在于，所述系统通过所述控制器来设定温度极限报警值。
7.根据权利要求6所述的离子注入机晶圆红外实时测温系统，其特征在于，所述温度极限报警值为37°。
8.根据权利要求7所述的离子注入机晶圆红外实时测温系统，其特征在于，所述系统能够与机台联锁，在达到所述温度极限报警值时所述机台停止植入晶圆。
9.根据权利要求8所述的离子注入机晶圆红外实时测温系统，其特征在于，所述系统与所述机台上的蜂鸣器通信。
10.根据权利要求9所述的离子注入机晶圆红外实时测温系统，其特征在于，所述蜂鸣器在达到所述温度极限报警值时进行蜂鸣报警。
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