[实用新型]真空炉内搬运装置及真空炉

权利要求书

1.一种真空炉内搬运装置，其特征在于，包括：壳体(100)、支撑料台(200)、升降组件(300)和驱动组件(400)；

所述支撑料台(200)设置在所述壳体(100)内，所述升降组件(300)设置在所述壳体(100)上，所述升降组件(300)与所述支撑料台(200)连接，以带动所述支撑料台(200)升降移动；

所述驱动组件(400)设置在所述支撑料台(200)上，以驱动位于所述支撑料台(200)上的工件(700)移动，所述壳体(100)上设置有用于带动所述驱动组件(400)的动力件(500)。

2.根据权利要求1所述的真空炉内搬运装置，其特征在于，所述驱动组件(400)包括驱动小车(410)、传动拨杆(420)、拨叉(430)和传动件(440)；

所述传动件(440)固定设置在所述壳体(100)上，且所述传动件(440)与所述动力件(500)传动连接；

所述拨叉(430)设置在所述传动件(440)上，以使所述拨叉(430)能够随所述传动件(440)移动；

所述拨叉(430)的开口方向朝向所述壳体(100)底部，所述驱动小车(410)可滑动的设置在所述支撑料台(200)上，所述传动拨杆(420)设置在所述驱动小车(410)的底部，所述传动拨杆(420)能够与所述拨叉(430)连接。

3.根据权利要求2所述的真空炉内搬运装置，其特征在于，所述传动件(440)包括第一传动齿轮(441)和第一链条(442)；

所述第一传动齿轮(441)固定设置在所述壳体(100)上，且所述壳体(100)内壁位于所述支撑料台(200)的两端均设置有所述第一传动齿轮(441)，两所述第一传动齿轮(441)通过所述第一链条(442)连接；

所述第一传动齿轮(441)与所述动力件(500)传动连接；

所述拨叉(430)设置在所述第一链条(442)上。

4.根据权利要求3所述的真空炉内搬运装置，其特征在于，所述传动件(440)还包括第二传动齿轮(443)；

所述第二传动齿轮(443)与位于所述支撑料台(200)远离加热室(600)的一端的所述第一传动齿轮(441)同轴设置，所述第二传动齿轮(443)通过第二链条与所述动力件(500)连接。

5.根据权利要求4所述的真空炉内搬运装置，其特征在于，所述动力件(500)包括电机(510)和驱动杆(520)；

所述驱动杆(520)设置在所述电机(510)的输出端，以使所述电机(510)带动所述驱动杆(520)转动；

所述驱动杆(520)上设置有第三传动齿轮(530)，第三传动齿轮(530)通过所述第二链条与所述第二传动齿轮(443)连接。

6.根据权利要求2所述的真空炉内搬运装置，其特征在于，所述支撑料台(200)包括导向轨(210)和用于承载工件(700)的滚轮(220)；

所述滚轮(220)设置在所述导向轨(210)上；

所述导向轨(210)侧壁开设有导向槽(211)，所述驱动小车(410)上设置有与所述导向槽(211)适配的导向轮(411)，以使所述驱动小车(410)能够沿所述导向槽(211)推动工件(700)移动。

7.根据权利要求6所述的真空炉内搬运装置，其特征在于，所述导向槽(211)远离加热室(600)的一端设置有下陷的台阶(212)，以使所述导向轮(411)位于所述台阶(212)内时，所述驱动小车(410)的高度低于所述滚轮(220)的高度。

8.根据权利要求2-7任一项所述的真空炉内搬运装置，其特征在于，所述升降组件(300)包括升降气缸(310)和连接杆(320)；

所述升降气缸(310)设置在所述壳体(100)上，所述升降气缸(310)的伸缩端通过所述连接杆(320)与所述支撑料台(200)连接。