[实用新型]一体式倒片倒角器

说明书

本实用新型公开了一体式倒片倒角器，包括上盖板、底板、摩擦辊子、支撑杆、支撑板、连接杆、左侧片筐垫条、右侧片筐垫条、轴承组，其中左侧片筐垫条与右侧片筐垫条的两端均分别与上盖板和底板固定连接，轴承组包括轴承一、轴承二，轴承一、轴承二的外圈分别嵌入上盖板与底板上，摩擦辊子位于左侧片筐垫条与右侧片筐垫条之间且其一端与轴承二的内圈套接，其另一端套接于轴承一的内圈并贯穿上盖板，且端部固定连接有一个旋钮，底板的两侧各铰接有一个连接杆，连接杆的底部固定连接于支撑板上，支撑杆固定连接于支撑板的右部上表面，本实用新型使倒片倒角简化，降低员工劳动强度，且对产品质量提升起到一定作用。

技术领域

本实用新型涉及半导体器件芯片制造设备领域，具体地，涉及一体式倒片倒角器。

背景技术

芯片制造过程中，为了适应设备以及工艺制程的需要，常常需要将硅片来回的倒片，原倒片方式为手动推拉式，不仅对倒片过程易产生划伤，如果片筐对齐不良则会产生碎片风险；硅片边缘凸凹不平、存在边缘应力、受热边缘膨胀系数不同，未经倒角的硅片由于上述的原因易发生崩裂的现象，因此需要对硅片边缘进行摩擦,从而获得钝圆形边缘，消除边缘锋利区,大大减小边缘崩裂的出现,利于释放应力，目前倒角器很多因为结构设计缺陷，使用损坏无法维修导致倒角异常，无法实现硅片平边整体倒角。为了实现上述这两种操作，则需要两种工夹器具交替使用，使用过程十分不人性化。

因此亟需一种设备将倒片倒角一体融合，降低员工的劳动强度缩短倒片倒角时间，提升产品质量。

实用新型内容

为克服上述现有技术的不足，本实用新型提供一种既可以倒片又可以倒角的工夹器具，使倒片倒角简化，降低员工劳动强度，且对产品质量提升起到一定作用。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一体式倒片倒角器，包括上盖板、底板、摩擦辊子、支撑杆、支撑板、连接杆、左侧片筐垫条、右侧片筐垫条、轴承组，所述左侧片筐垫条与右侧片筐垫条均位于底板的边侧，且左侧片筐垫条与右侧片筐垫条的两端均分别与上盖板和底板固定连接，所述轴承组包括轴承一、轴承二，所述轴承一、轴承二的外圈分别嵌入上盖板与底板内，所述摩擦辊子位于左侧片筐垫条与右侧片筐垫条之间且其一端与轴承二的内圈套接，其另一端套接于轴承一的内圈并贯穿上盖板，且端部固定连接有一个旋钮，所述底板的两侧各铰接有一个连接杆，所述连接杆的底部固定连接于支撑板上，所述支撑杆固定连接于支撑板的右部上表面，其顶端与底板抵接。

优选地，所述支撑杆带有磁力，其与底板通过磁力相吸。

优选地，所述摩擦辊子外部周圈包裹固定有防滑胶皮。

优选地，所述底板可绕其与连接杆的铰接点逆时针旋转一定角度，并与支撑板之间形成夹角，所述夹角的最佳角度为45°。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型将倒角与倒片两个功能有机的结合到一个设备上，最终实现倒片倒角一体融合，降低操作人员劳动强度，提高做片质量，且其结构简单，维修更换容易。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的俯视图；

图3为实施例的示意图；

图中所示附图标记为：1-上盖板、2-底板、3-摩擦辊子、4-支撑杆、5-支撑板、6-连接杆、7-左侧片筐垫条、8-右侧片筐垫条、9-轴承一、10-轴承二、11-旋钮、12-硅片、13-收片片筐、14-送片片筐。

具体实施方式

以下结合附图对本设计方案进行详细说明。