[实用新型]一种托液装置

说明书

本实用新型公开一种托液装置，包括装置本体和托臂，所述托臂安装于所述装置本体，所述托臂设有凹陷部，用于对扫描液滴进行承接。采用这种方案，本实用新型所提供托液装置的托臂设置有凹陷部，可以对扫描液滴进行承接，能够较大程度地避免扫描液滴的掉落；这样，当该托液装置配合气相分解金属沾污收集系统中的其他部件进行使用时，可以较好地完成对待测试样边缘部的扫描取样，使得对于待测试样的边缘部的采样检测成为可能。

技术领域

本实用新型涉及取样扫描部件技术领域，具体涉及一种托液装置。

背景技术

高性能、低功耗的芯片在制备过程中需要引入大量新的化学元素，而不同化学元素的引入会造成芯片制造过程中金属沾污控制难度的提升。目前，最为常见的金属沾污检测设备是气相分解金属沾污收集系统和电感耦合等离子体质谱仪，但这些检测设备对于待测晶圆的检测主要是集中在待测晶圆的中心区域。以气相分解金属沾污收集系统为例，其通常是采用扫描液滴对待测晶圆的表面进行扫描取样，如果对待测晶圆的边缘部进行扫描取样，扫描液滴容易掉落，进而导致边缘部无法进行有效取样。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种托液装置，该托液装置的托臂可以对扫描液滴进行承接，能够较大程度地避免扫描液滴的掉落，进而能够辅助完成对于待测试样边缘部的扫描取样。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种托液装置，包括装置本体和托臂，所述托臂安装于所述装置本体，所述托臂设有凹陷部，用于对扫描液滴进行承接。

采用这种方案，本实用新型所提供托液装置的托臂设置有凹陷部，可以对扫描液滴进行承接，能够较大程度地避免扫描液滴的掉落。这样，当该托液装置配合气相分解金属沾污收集系统中的其他部件进行使用时，可以较好地完成对待测试样边缘部的扫描取样，使得对于待测试样的边缘部的采样检测成为可能。

可选地，所述托臂包括臂部和柔性膜，所述柔性膜安装于所述臂部，常态下，所述柔性膜处于下凹状态，用于形成所述凹陷部。

可选地，还包括吹吸部件，所述臂部内设有流体通道，所述流体通道的一端与所述吹吸部件相连，所述流体通道的另一端连通所述柔性膜的下侧；所述吹吸部件用于向所述流体通道内输送流体或者抽吸流体，以使所述柔性膜在鼓起状态和下凹状态之间进行切换。

可选地，所述臂部设有凹槽，常态下，所述柔性膜与所述凹槽的槽内壁面相贴合。

可选地，所述柔性膜的材质为耐腐蚀材料。

可选地，所述装置本体包括驱动机构，所述驱动机构与所述托臂传动连接，用于驱使所述托臂进行位移。

可选地，所述驱动机构为驱转机构，所述驱转机构包括旋转轴，所述旋转轴与所述托臂传动连接，用于驱使所述托臂进行旋转位移。

可选地，还包括转接臂，所述旋转轴通过所述转接臂与所述托臂相连。

可选地，所述装置本体还配置有调高部件，用于对所述托臂的安装高度进行调节。

可选地，所述托液装置的各部件中，至少所述托臂的材质为耐腐蚀材料，或者，至少所述托臂涂覆有耐腐蚀涂层。

附图说明

图1为本实用新型所提供托液装置的一种具体实施方式的结构示意图；

图2为托臂在柔性膜处于鼓起状态时的剖面图；

图3为一种边缘扫描系统的结构示意图。

图1-图3中的附图标记说明如下：

1装置本体、11驱转机构、111旋转轴、112驱动电机、113电机支架、

114联轴器、115轴承、116固定板、117固定螺钉、118定位销、119连接键、12转接臂、13调节螺钉；