[实用新型]一种实时荧光监测冷冻聚焦离子束加工装置

权利要求书

1.一种实时荧光监测冷冻聚焦离子束加工装置，其特征在于，包括：

真空腔室(1)，内部设置有冷台(3)，用于存放冷冻样品(8)，所述冷冻样品(8)内设有荧光标记物；

离子束系统(6)，设于所述真空腔室(1)上，并指向所述冷冻样品(8)设置，用于对所述冷冻样品(8)进行离子束加工；

荧光成像系统(2)，设于所述真空腔室(1)上，并位于所述冷冻样品(8)的下方，用于对所述冷冻样品(8)发射激发光并进行实时光学成像。

2.根据权利要求1所述的实时荧光监测冷冻聚焦离子束加工装置，其特征在于，所述荧光成像系统(2)包括沿光路依次设置的激光器(207)、物镜(201)、反光镜(202)、镜筒透镜(203)、二向色镜(204)、滤光片(205)和图像探测器(206)；其中，

所述真空腔室(1)上设有荧光窗口(110)，所述荧光窗口(110)位置密封连接有真空法兰(209)；

所述真空法兰(209)一端连接有光学连接筒(208)，另一端连接有底座(210)，所述光学连接筒(208)位于所述真空腔室(1)外侧，所述底座(210)位于所述真空腔室(1)内侧；

所述物镜(201)和所述反光镜(202)均设于所述底座(210)上；

所述镜筒透镜(203)、所述二向色镜(204)、所述滤光片(205)均设于所述光学连接筒(208)内，所述图像探测器(206)设于所述光学连接筒(208)远离所述真空法兰(209)的一侧；

所述真空法兰(209)的中心设置有透光片，所述透光片用于对所述真空腔室(1)进行密封；

所述光学连接筒(208)的筒壁的支路上还设有激光器(207)，所述激光器(207)位于所述二向色镜(204)与滤光片(205)垂直的一侧。

3.根据权利要求2所述的实时荧光监测冷冻聚焦离子束加工装置，其特征在于，所述底座(210)上设置有线性平移台(211)；

所述物镜(201)和所述反光镜(202)均设于所述线性平移台(211)上，所述线性平移台(211)工作能够带动所述物镜(201)和所述反光镜(202)向靠近和/或远离所述冷冻样品(8)的方向移动。

4.根据权利要求3所述的实时荧光监测冷冻聚焦离子束加工装置，其特征在于，所述线性平移台(211)上还设有物镜调节装置和反光镜调节装置；

所述物镜(201)设于所述物镜调节装置上，所述物镜调节装置适于带动所述物镜(201)三维移动和/或倾转；

所述反光镜(202)设于所述反光镜调节装置上，所述反光镜调节装置适于带动所述反光镜(202)平面移动和/或倾转。

5.根据权利要求4所述的实时荧光监测冷冻聚焦离子束加工装置，其特征在于，所述物镜调节装置包括物镜倾转台(213)和物镜平移台(212)；

所述物镜(201)设于所述物镜平移台(212)上，所述物镜平移台(212)设于所述物镜倾转台(213)上，所述物镜倾转台(213)设于所述线性平移台(211)上，所述物镜平移台(212)工作能够带动所述物镜(201)三维移动，所述物镜倾转台(213)工作能够带动所述物镜(201)倾转。

6.根据权利要求4所述的实时荧光监测冷冻聚焦离子束加工装置，其特征在于，所述反光镜调节装置包括反光镜平移台(214)和反光镜倾转台(215)；

所述反光镜(202)设于所述反光镜倾转台(215)上，所述反光镜倾转台(215)设于所述反光镜平移台(214)上，所述反光镜平移台(214)设于所述线性平移台(211)上，所述反光镜倾转台(215)工作能够带动所述反光镜(202)倾转，所述反光镜平移台(214)工作能够带动所述反光镜(202)平面移动。