[实用新型]一种硅片加工用轴承同心度保证装置

权利要求书

1.一种硅片加工用轴承同心度保证装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的中心处开设有开口(15)，所述底板(1)的两侧对称安装有安装座(2)，所述安装座(2)上安装有液压伸缩杆(3)，所述液压伸缩杆(3)的底端固定有支撑脚(11)，所述液压伸缩杆(3)的顶部设置有进油口(4)，所述进油口(4)上固定有进油枪(5)，所述进油枪(5)通过供油管(6)与储油罐(9)底部的供油泵(8)连接，所述储油罐(9)的外壁一侧安装有控制板(10)，所述控制板(10)电性连接供油泵(8)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片加工用轴承同心度保证装置，其特征在于：所述供油管(6)上安装有液压传感器(7)，所述控制板(10)的内部安装有PLC控制器(19)，所述液压传感器(7)电性连接PLC控制器(19)的输入端，所述PLC控制器(19)的输出端电性连接供油泵(8)。

3.根据权利要求1所述的一种硅片加工用轴承同心度保证装置，其特征在于：所述底板(1)上位于开口(15)的一侧通过转轴(14)活动连接有横杆(13)，所述底板(1)上位于开口(15)的另一侧开设有凹槽(16)，所述凹槽(16)的上部旋接固定有紧固螺钉(17)。

4.根据权利要求1所述的一种硅片加工用轴承同心度保证装置，其特征在于：所述底板(1)的顶板位于开口(15)的四周安装有上加固座(20)，所述底板(1)的底部位于开口(15)的四周安装有下加固座(18)。

5.根据权利要求1所述的一种硅片加工用轴承同心度保证装置，其特征在于：所述支撑脚(11)的底部粘接固定有橡胶垫(12)。