[实用新型]一种用于测定氯硅烷中水分的装置

说明书

本实用新型公开了一种用于测定氯硅烷中水分的装置，属于多晶硅生产技术领域，包括样品池体，样品池体上端设有样品加入口，样品池体左右两端设有透光片，样品池体外壁设有保护气进入口和保护气排出口，保护气进入口与保护气进气管相连，保护气排出口与保护气排出管相连。使用前先用保护气将样品池体充满，随用将氯硅烷样品放入样品池体内，使用红外在透光片处检测氯硅烷样品中的水分，检测完毕后将氯硅烷样品倒出后，用保护气置换。本实用新型能准确测定氯硅烷中水分，且操作方便。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，具体涉及一种用于测定氯硅烷中水分的装置。

背景技术

前在多晶硅生产检修后，系统的水含量主要靠测试系统吹扫气体的露点来确定系统是否吹扫合格，但是吹扫过程中总有死角吹扫不到，导致后续进料可能导致生成大量水解物，造成系统堵塞二次停车检修，浪费了大量的财力物力，对生产成本造成浪费；在生产过程中，系统加热或者冷却主要靠水来进行，系统微漏时，只能靠测试循环水的PH来确定系统是否泄漏，而生产现场采用广泛PH试纸来测试，系统微漏测试效果不明显。

主要用红外来测试氯硅烷中的SiCl₃OH来确定氯硅烷中的水含量，将氯硅烷放入样品池后，用红外在1500-4000cm-1范围内进行扫描，并查看3666cm-1处透光率，若此位置透光率＞95%，则认为系统无泄漏或者吹扫置换符合要求。

发明内容

本实用新型旨在解决现有技术中存在的问题，提供一种用于测定氯硅烷中水分的装置，使用前先用保护气将样品池体充满，随用将氯硅烷样品放入样品池体内，使用红外在透光片处检测氯硅烷样品中的水分，检测完毕后将氯硅烷样品倒出后，用保护气置换。本实用新型能准确测定氯硅烷中水分，且操作方便。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

一种用于测定氯硅烷中水分的装置，其特征在于：包括样品池体，所述样品池体上端设置有样品加入口，所述样品池体左右两端设置有透光片，所述样品池体外壁设置有保护气进入口和保护气排出口，所述保护气进入口与保护气进气管相连，所述保护气排出口与保护气排出管相连。

优选的，所述样品池体为圆柱形。

优选的，所述保护气进气管上设置有进气阀门，所述保护气排出管上设置有排气阀门。

优选的，所述样品加入口处设置有内螺纹，所述内螺纹与样品塞螺纹连接。

优选的，所述样品池体外还设置有固定机构。

优选的，所述固定机构包括固定外壳，所述固定外壳两侧设置有与透光片相匹配的开孔，所述固定外壳上设置有与保护气进入口和保护气排出口相匹配的外壳开口。

优选的，所述固定外壳包括上外壳和下外壳，所述上外壳和下外壳一端通过合页铰接。

优选的，所述固定外壳为长方体形。

工作原理：开启排气阀门和进气阀门，保护气从保护气进气管通入样品池体内，随后从保护气排气管排出，将样品池体内的其他气体排出，保护气充满整个样品池体，最后将样品从样品加入口放入样品池体内，随后将样品塞旋入样品开口内，完成样品池体的封闭。再从透光片处用红外在1500-4000cm-1范围内进行扫描，并查看3666cm-1处透光率，用红外来测定氯硅烷中的SiCl₃OH来确定氯硅烷中的水含量。当测定完毕后，将样品从样品池体内排出，随后开启排气阀门和进气阀门，保护气从保护气进气管通入样品池体内，随后从保护气排气管排出，将样品池体内排尽。

本技术方案的有益效果如下：

一、本实用新型提供的一种用于测定氯硅烷中水分的装置，使用前先用保护气将样品池体充满，随用将氯硅烷样品放入样品池体内，使用红外在透光片处检测氯硅烷样品中的水分，检测完毕后将氯硅烷样品倒出后，用保护气置换。本实用新型能准确测定氯硅烷中水分，且操作方便。