[实用新型]一种光刻胶涂覆装置

权利要求书

1.一种光刻胶涂覆装置，其特征在于，包括：

工作台(1)，所述工作台(1)的下端外表面连接有注胶筒(2)；

具有吸附固定功能的旋转机构(3)，具有吸附固定功能的所述旋转机构(3)与工作台(1)连接。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于，具有吸附固定功能的所述旋转机构(3)包括转动轴杆(31)，所述工作台(1)的上端外表面转动连接有转动轴杆(31)，所述转动轴杆(31)的上端通过转盘固定连接有吸盘(34)，转盘的下端外表面固定连接有橡胶包圈(33)，所述吸盘(34)的外表面固定连接有与其连通的安装筒(36)，安装筒(36)开设有内螺纹，内螺纹螺纹连接有螺纹杆(37)，安装筒(36)内螺纹杆(37)的一端固定连接有活塞(38)，所述安装筒(36)的外表面开设有两个对称设置的出气孔(39)。

3.根据权利要求2所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于，具有吸附固定功能的所述旋转机构(3)还包括驱动电机(32)，所述工作台(1)的下端外表面通过保护外壳固定连接有用于驱动转动轴杆(31)的驱动电机(32)，驱动电机(32)的输出端与转动轴杆(31)的下端转动连接。

4.根据权利要求2所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于，所述具有吸附固定功能的所述旋转机构(3)还包括橡胶防护垫(35)，所述吸盘(34)的外表面固定连接有橡胶防护垫(35)，橡胶防护垫(35)上设有贯穿的通孔。

5.根据权利要求4所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于，所述工作台(1)连接有防飞溅机构(4)。

6.根据权利要求5所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于，所述防飞溅机构(4)包括保护罩(41)，所述工作台(1)的上端外表面设有上下贯穿的通槽，通槽内活动连接有保护罩(41)，所述吸盘(34)位于保护罩(41)内，保护罩(41)的下端外表面固定连接有两个对称设置的卡杆(42)，工作台(1)设有的通槽内开设有滑槽和旋转固定槽(43)，卡杆(42)与滑槽滑动连接，当转动保护罩(41)时，卡杆(42)与旋转固定槽(43)互相卡接，所述保护罩(41)内可拆卸连接有海绵垫(44)。

7.根据权利要求6所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于，所述防飞溅机构(4)还包括弹性固定环(45)，所述工作台(1)的上表面固定连接有多个弹性固定环(45)，海绵垫(44)的下端与弹性固定环(45)互相卡接，所述保护罩(41)的上端内部固定连接有多个安装座，安装座内通过阻尼橡胶垫阻尼转动连接有直角杆(46)，直角杆(46)的外表面固定连接有弹簧(47)，当转动直角杆(46)至向下垂直时弹簧(47)挤压海绵垫(44)的上端外表面。

8.根据权利要求1所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于，所述工作台(1)的后端固定连接有用于收纳海绵垫(44)的海绵收卷筒(5)。