[实用新型]一种卷绕式蒸发镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种卷绕式蒸发镀膜机，主要包括真空室、蒸发源、镀膜主辊、移动式挡板系统和控制系统；移动式挡板系统位于真空室内；移动式挡板系统包括移动挡板、竖直移动机构、横向移动机构和清洗模块；移动挡板为两块，分别位于镀膜主辊的两侧；移动挡板的下表面为外凸的弧形曲面；在真空室内为移动挡板设置有镀膜遮挡相位、蒸发源屏蔽相位和清洗相位；移动挡板在竖直移动机构和横向移动机构的作用下可分别进行竖直方向上的移动和横向移动，移动至镀膜遮挡相位、蒸发源屏蔽相位或清洗相位。

技术领域

本实用新型属于卷绕真空镀膜技术领域，特别涉及一种卷绕式蒸发镀膜机。

背景技术

在卷绕蒸发镀膜生产过程中，为防止蒸发过程中产生的高温及蒸发材料对处于镀膜主辊冷却保护范围之外的柔性薄膜造成损伤，通常在卷绕蒸发镀膜设备中设置挡板将蒸发镀膜区域和其它区域分隔开。然而，在真空镀膜工艺过程中，当启动蒸发源在柔性基膜上进行蒸发镀膜时，挡板上也同样会附着一定厚度的蒸发材料，当挡板上的附着的蒸发材料达到一定程度时就会因为内应力或冷热冲击发生脱落，造成对镀膜环境的污染，进而影响薄膜产品的质量。

为避免上述问题，一般需要对卷绕蒸发镀膜设备中的挡板进行定期清洗，或为挡板设置衬板，对衬板进行清洗。目前，在应用较多的单室卷绕蒸发镀膜机中通常采用固定挡板的设计或为固定挡板设置衬板，进行挡板或衬板清洗时，通常需要将其从设备中拆下来，采用喷砂、人工打磨或高压气体吹扫等方式在卷绕镀膜外部实施清洗，这种清洗方式费时费力，还会存在清洗不彻底、对挡板或衬板产生二次污染、损坏挡板或衬板表面造成夹气影响真空度等问题，对镀膜生产的稳定进行带来隐患。特别是在用于汽车动力电池电极层薄膜生产的高端多室卷绕真空镀膜设备中，传统的清洗方法会增加镀膜真空区域及镀膜核心部件暴露大气、受大气污染的机会，影响薄膜产品品质稳定性，且不利于高端智能化卷绕蒸发镀膜设备高度自动化生产的实施。

实用新型内容

本实用新型提供一种卷绕式蒸发镀膜机，主要包括真空室、蒸发源、镀膜主辊、移动式挡板系统和控制系统；移动式挡板系统位于真空室内；移动式挡板系统包括移动挡板、竖直移动机构、横向移动机构和清洗模块；移动挡板为两块，分别位于镀膜主辊的两侧；在真空室内为移动挡板设置有镀膜遮挡相位、蒸发源屏蔽相位和清洗相位；移动挡板在控制系统的控制下在竖直移动机构和横向移动机构的作用下可分别进行竖直方向上的移动和横向移动，移动至镀膜遮挡相位、蒸发源屏蔽相位或清洗相位。移动挡板的下表面为外凸的弧形曲面；移动挡板内设置有隔热夹层，隔热夹层可以选自真空隔热腔、气体隔热腔、金属氧化铝夹层等结构形式。

蒸发源设置在镀膜主辊的下方，镀膜主辊内部通有冷却液，柔性基膜绕经镀膜主辊时进行蒸发镀膜；蒸发源为抽屉式结构，控制系统可控制将蒸发源拉出或推回真空室。

竖直移动机构包括导杆和竖直驱动电机，移动挡板安装固定在沿导杆滑动的竖直滑块上，竖直驱动电机驱动移动挡板做竖直方向上的移动；横向移动机构包括滑轨和横向驱动电机，导杆安装固定在沿滑轨滑动的横向滑块上，横向驱动电机通过驱动导杆带动移动挡板做横向移动。

清洗模块位于移动挡板的下方，当移动挡板处于清洗相位时，由清洗模块对移动挡板进行清洗。

在清洗作用面的四个侧边上还设置有围板，使清洗模块对移动挡板进行清洗时形成一个相对独立的空间；真空室外部还设置有干冰供应源，干冰供应源与清洗模块相连接。

移动挡板处于清洗相位上时，移动挡板的下表面与清洗作用面之间的间距控制在35mm以内。

镀膜遮挡相位位于镀膜主辊的两侧靠近镀膜主辊的位置；移动挡板处于镀膜遮挡相位时，移动挡板边缘与镀膜主辊之间的间隙控制在2mm以内。

蒸发源屏蔽相位位于蒸发源的正上方；移动挡板处于蒸发源屏蔽相位时，移动挡板的下表面与蒸发源之间的间距控制在5 - 25mm范围内。