[实用新型]一种具有多极杆质量分析器的同位素分离富集装置

权利要求书

1.一种具有多极杆质量分析器的同位素分离富集装置，其特征在于,包括前置腔室和联结在所述前置腔室后侧的真空腔室，所述前置腔室和所述真空腔室之间具有真空接口，所述前置腔室内部安装有ICP离子源组件，所述ICP离子源组件通过所述真空接口与安装在所述真空腔室内的离子提取系统联结，所述离子提取系统后侧联结有多极杆质量分析器，所述多极杆质量分析器后侧联结有用于插拔式接收器，所述插拔式接收器后侧还联结有信号放大器；

所述真空腔室还联结有用于形成所述真空腔室内部高真空的分子泵；

所述同位素分离富集装置还包括电子控制系统，所述电子控制系统包括用于激发等离子体的ICP射频电源，用于筛选分离同位素的多极杆射频电源，以及控制功能器件；

所述前置腔室为环境大气压腔室，所述ICP离子源组件包括炬管,所述炬管放置在所述真空接口之前。

2.根据权利要求1所述的一种具有多极杆质量分析器的同位素分离富集装置，其特征在于，所述ICP离子源组件还包括高浓度溶液容器，和与所述高浓度溶液容器相作用产生等离子体的电感耦合部件。

3.根据权利要求1所述的一种具有多极杆质量分析器的同位素分离富集装置，其特征在于，所述多极杆质量分析器为四极杆质量分析器或六极杆质量分析器。

4.根据权利要求1所述的一种具有多极杆质量分析器的同位素分离富集装置，其特征在于，所述插拔式接收器为接地的法拉第杯。

5.根据权利要求4所述的一种具有多极杆质量分析器的同位素分离富集装置，其特征在于，所述法拉第杯采用单质石墨或惰性金属材料制备的杯体结构。

6.根据权利要求1所述的一种具有多极杆质量分析器的同位素分离富集装置，其特征在于，所述真空腔室具有用于方便拆卸安装维护所述离子提取系统、所述多极杆质量分析器的真空腔室顶盖。

7.根据权利要求1所述的一种具有多极杆质量分析器的同位素分离富集装置，其特征在于，所述真空接口采用耐盐大孔径锥结构。

8.根据权利要求1所述的一种具有多极杆质量分析器的同位素分离富集装置，其特征在于，所述接收器和所述真空接口的锥孔和所述离子源处于一条不被阻隔的直线上。