[实用新型]一种节能环保的新型退火炉

说明书

本实用新型公开了一种节能环保的新型退火炉，包括退火炉本体、第二固定件和外壳，所述退火炉本体的外表面底端安装有面板，所述退火炉本体的内壁固定安装有第一限位板，且退火炉本体退火炉本体的内壁安装有第二限位板，所述退火炉本体的内壁固定安装有第一盘管和第二盘管，所述退火炉本体的外表面后端安装有机箱，且机箱的侧端面设置有转轴，所述转轴背离机箱的一端固定安装有隔板，且隔板内开设有导向槽，所述隔板的前端面安装有第一固定件，且隔板的后端面安装有液压杆，所述第二固定件的后端面焊接有连接架，所述退火炉本体的外表面安装有外壳，且外壳的顶端面嵌入固定有连接管。本实用新型具备操作便捷，保温性能高和实用性更佳的优点。

技术领域

本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种节能环保的新型退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

但现有的退火炉内部保温性不佳，容易造成大量热能的浪费，影响后期实际加工和生产。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种节能环保的新型退火炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种节能环保的新型退火炉，包括退火炉本体、第二固定件和外壳，所述退火炉本体的外表面底端安装有面板，所述退火炉本体的内壁固定安装有第一盘管和第二盘管，所述退火炉本体的外表面后端安装有机箱，且机箱的侧端面设置有转轴，所述转轴背离机箱的一端固定安装有隔板，且隔板内开设有导向槽，所述隔板的前端面安装有第一固定件，且隔板的后端面安装有液压杆，所述第二固定件的后端面焊接有连接架，所述退火炉本体的外表面安装有外壳，且外壳的顶端面嵌入固定有连接管。

优选的，所述面板的底端面焊接有支撑架，且支撑架的底端面固定安装有底座。

优选的，所述退火炉本体的内壁固定安装有第一限位板，且退火炉本体退火炉本体的内壁安装有第二限位板。

优选的，所述连接架滑动套接在导向槽，且连接架固定安装在进气管上。

优选的，所述连接管内安装有风机，且外壳内安装有滤网和电热丝。

优选的，所述外壳的底端面嵌入固定有进气管，且外壳通过进气管与第一盘管和第二盘管气体连通。

优选的，所述第一盘管和第二盘管上嵌入固定有出气管，且第一盘管和第二盘管通过出气管与连接管气体连通。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置隔板，操作人员在对工件进行加工时，人员将工件放置在隔板内，且工件处于第一固定件和第二固定件的内壁，放置后人员打开液压杆推动第二固定件左右移动，第二固定件移动时对工件进行夹持和限位，使人员可根据工件的实际大小进行夹持和限位，并且在进行退火时，人员可外接电源打开动力装置带动隔板进行转动，隔板转动时使工件受热更加均匀，使实用性更高，后期操作更加便捷。

2、本实用新型通过设置退火炉本体，人员在对工件进行退火时，人员外接电源打开风机和电热丝，风机启动时带动气体进入外壳内通过电热丝进行加热，加热后供入第一盘管和第二盘管内，气体在第一盘管和第二盘管内进行流通时使退火炉本体内的热量更加均匀的发散，且第一盘管和第二盘管的气体通过出气管回流到连接管内再次进行使用，使实用性更高，热量可更好的再次进行利用，使实用性更高，加工更加便捷。

附图说明

图1为本实用新型的主视结构示意图；

图2为本实用新型的主视内部结构示意图；