[实用新型]一种VCSEL激光器及光模块

说明书

本实用新型涉及一种VCSEL激光器及光模块，通过VCSEL激光器上增加透镜，使从VCSEL激光器出射的光由散射光变为平行光，从而提高光纤耦合激光的有效率。并且使用本申请的VCSEL激光器的光模块，无需再额外增加准直透，简化了光模块结构件设计难度，提高了光学的耦合效率，还可降低制造成本，提高生产效率。

技术领域

本实用新型涉及激光器技术领域，尤其涉及一种VCSEL激光器及光模块。

背景技术

现有SFP+SR光模块中VCSEL激光器是成发散角的方式发光，激光器发出的光只有20％左右耦合进光纤中，造成激光器耦合效率很低；没有耦合进光纤中的光源由于散射等因素对激光器的性能有一定的恶化效果。

实用新型内容

鉴于上述状况，有必要提出一种提高耦合有效率的VCSEL激光器及光模块。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：一种VCSEL激光器，包括一次刻蚀台面、二次刻蚀台面、电极接触层、衬底、BCB、n型电极、p型电极和透镜，所述一次刻蚀台面设置在所述二次刻蚀台面上，所述n型电极和所述二次刻蚀台面设置在电极接触层上，所述电极接触层设置在衬底上，所述p型电极设置在所述一次刻蚀台面上，所述透镜覆盖所述P型电极的中部的光窗平台，所述BCB从侧面包覆所述一次刻蚀台面、所述二次刻蚀台面和所述n型电极；其中，所述透镜为透射式准直镜，将光窗平台出射的激光光线折射成平行光。

进一步的，所述透镜包括ITO、ZnO、ZnSe和Al_xZn_1-xO_1+0.5x及覆盖于其上之SiO₂、Si₃N₄或其组合。

进一步的，所述透镜通过电子束蒸发、物理气相沉积或溅射沉积形成。

进一步的，在所述透镜下方的所述光窗平台上还设有抗反射透明导电层。

进一步的，所述抗反射透明导电层包括ITO、ZnO和Al_xZn_1-xO_1+0.5x及覆盖于其上之SiO₂、Si₃N₄或其组合之薄膜。

进一步的，所述抗反射透明导电层铺满所述光窗平台。

进一步的，所述透镜的外径大于或等于所述抗反射透明导电层的外径。

进一步的，所述衬底为无掺杂u-GaAS衬底。

本实用新型还提供一种光模块，包括PCBA板以及底面安设于所述PCBA板上的透镜基体，还包括上述的VCSEL激光器和用于接收光以进行背光监控的MPD芯片，所述透镜基体上包括有聚焦透镜、分光片、第一反射面和第二反射面；从所述VCSEL激光器出射的平行光经过所述第一反射面反射至所述分光片，一部分光经所述第二反射面反射后入射至所述MPD芯片，另一部分光镜入射至所述聚焦透镜，形成汇聚光。

进一步的，所述透镜基体还包括折射面，所述折射面将从所述第二反射面反射的光折射，使光垂直入射至所述MPD芯片。

本实用新型的有益效果在于：通过VCSEL激光器上增加透镜，使从VCSEL激光器出射的光由散射光变为平行光，从而提高光纤耦合激光的有效率。并且使用本申请的VCSEL激光器的光模块，无需再额外增加准直透，简化了光模块结构件设计难度，提高了光学的耦合效率，还可降低制造成本，提高生产效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例一种VCSEL激光器的结构示意图；

图2是本实用新型实施例一种VCSEL激光器及光模块的结构示意图。

100、VCSEL激光器；110、一次刻蚀台面；111、透镜；112、p型电极；