[实用新型]一种用于掩模版制程相邻区域转运装置

权利要求书

1.一种用于掩模版制程相邻区域转运装置，其特征在于，包括转运仓，所述转运仓包括一呈罩状的转运仓壳体和置于所述转运仓壳体内的掩膜版放置区，所述转运仓壳体顶部设置有向所述转运仓壳体内吹入洁净空气的风淋系统，所述转运仓壳体的侧面上设置有进版仓门和出版仓门，所述进版仓门和出版仓门分别朝向掩膜版制程中两相邻的加工工序的加工设备，所述进版仓门和出版仓门上均分别设置有自动卷帘门；所述风淋系统包括由上而下依次设置的风机过滤机组和过滤器。

2.根据权利要求1所述的用于掩模版制程相邻区域转运装置，其特征在于，所述自动卷帘门包括有卷帘门本体、实现所述卷帘门本体收卷和放下的卷曲装置和与所述卷曲装置信号连接并控制所述卷曲装置工作的控制器。

3.根据权利要求2所述的用于掩模版制程相邻区域转运装置，其特征在于，所述卷帘门本体上至少包括有透明区域，所述透明区域朝向转运仓壳体内的掩膜版放置区，所述透明区域由软质透明PVC制成；所述转运仓壳体内部还设置有朝向掩膜版放置区的黄色LED照明灯。

4.根据权利要求1所述的用于掩模版制程相邻区域转运装置，其特征在于，所述转运仓壳体内部靠近所述出版仓门的侧面上设置有压差表，所述掩膜版放置区上部的转运仓壳体上设置有雷达，所述雷达与控制器信号连接。

5.根据权利要求1所述的用于掩模版制程相邻区域转运装置，其特征在于，所述进版仓门和出版仓门侧面均分别设置有红外感应器，所述红外感应器与控制器信号连接。

6.根据权利要求2所述的用于掩模版制程相邻区域转运装置，其特征在于，所述控制器包括控制盒、置于所述控制盒内的信号接收模块、信号发送模块和信号控制模块，所述控制盒上还设置有电源指示灯、急停开关和触摸屏。

7.根据权利要求1所述的用于掩模版制程相邻区域转运装置，其特征在于，所述过滤器采用干式过滤器，所述风机过滤机组顶部设置有风机外壳，所述风机过滤机组出风量为9000—10500CMH。

8.根据权利要求1所述的用于掩模版制程相邻区域转运装置，其特征在于，所述转运仓壳体底部设置有不锈钢支架，所述不锈钢支架外部包裹有不锈钢封板。