[实用新型]一种防止真空管道倒流的真空管路系统

说明书

本实用新型涉及真空管路技术领域，具体为一种防止真空管道倒流的真空管路系统。包括制程反应腔、第一管路、主泵、第二管路和废气处理设备，第一管路靠近制程反应腔位置安装有真空阀组，真空阀组通过导线与主泵电性连接，真空阀组还通过导线连接有报警器。在原有真空系统中加装实时响应的真空阀组，此时若主泵因为各种问题停机时，停机信号会及时反馈给真空阀组，真空阀组第一时间关闭，阻断制程腔与下游段的真空管路系统，其次信号会反馈到报警器，告知现场人员情况并及时处理，从而延长真空系统的运行寿命。

技术领域

本实用新型涉及真空管路技术领域，具体为一种防止真空管道倒流的真空管路系统。

背景技术

原真空系统制程反应腔内的废气会被下游的泵抽吸然后排放到废气处理设备进行处理，这个过程中，泵有时会因为各种问题出现停机的状况，此时制程反应腔处于真空状态，若泵停止运转，整个真空管路系统内部的气流会裹挟着废气以及粉尘倒灌进制程腔，污染腔室，重新清洁耽误时间额外长。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

为了解决现有技术的上述问题，本实用新型提供一种防止真空管道倒流的真空管路系统，在原有真空系统中加装实时响应的真空阀组，此时若主泵因为各种问题停机时，停机信号会及时反馈给真空阀组，真空阀组第一时间关闭，阻断制程腔与下游段的真空管路系统，其次信号会反馈到报警器，告知现场人员情况并及时处理，从而延长真空系统的运行寿命。

(二)技术方案

为了达到上述目的，本实用新型采用的主要技术方案：包括制程反应腔、第一管路、主泵、第二管路和废气处理设备，所述第一管路靠近制程反应腔位置安装有真空阀组，所述真空阀组通过导线与主泵电性连接，所述真空阀组还通过导线连接有报警器。

优选的，还包括副泵，所述副泵通过导管安装在真空阀组下游。

优选的，所述真空阀组还通过导线与副泵连接。

优选的，还包括与真空阀组电性连接的控制器。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种防止真空管道倒流的真空管路系统。具备以下有益效果：

(1)、若主泵因为各种问题停机时，停机信号会及时反馈给真空阀组，真空阀组第一时间关闭，阻断制程腔与下游段的真空管路系统，其次信号会反馈到报警器，告知现场人员情况并及时处理，从而延长真空系统的运行寿命。

(2)、在真空阀组切断的情况下，启动股泵，实现第一管路与第二管路的畅通，能够把第一管路与第二管路内部残留的废气及时吹入到废气处理设备内，避免粉尘在第一管路和第二管路内壁凝结，导致第一管路或第二管路堵塞。

附图说明

图1为本实用新型真空管路系统图。

图中：1、制程反应腔；2、第一管路；3、主泵；4、第二管路；5、废气处理设备；6、真空阀组；7、报警器；8、副泵；9、控制器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。