[实用新型]一种具备组合加热真空管道的真空管路系统

权利要求书

1.一种具备组合加热真空管道的真空管路系统，包括制程腔体(1)、第一管路(2)、泵(3)、第二管路(4)和废气处理设备，其特征在于：所述第一管路(2)和第二管路(4)外壁位置包覆有加热套件。

2.根据权利要求1所述的一种具备组合加热真空管道的真空管路系统，其特征在于：所述加热套件包括加热带(5)和设置在加热带(5)上用于固定加热带(5)的魔术贴(6)，所述加热带(5)包括位于背部一侧的包覆层(501)和包覆层(501)正面右侧的加热层(502)，所述魔术贴(6)包括固定设置在包覆层(501)上且位于加热层(502)左侧位置的第一粘合部(601)和位于包覆层(501)背部右侧位置的第二粘合部(602)。

3.根据权利要求2所述的一种具备组合加热真空管道的真空管路系统，其特征在于：所述加热带(5)正面一侧还等间距设置有防滑条(7)。

4.根据权利要求3所述的一种具备组合加热真空管道的真空管路系统，其特征在于：所述防滑条(7)为橡胶材质制成。