[实用新型]一种紫外臭氧清洁设备

权利要求书

1.一种紫外臭氧清洁设备，其特征在于，包括：紫外灯管和供电电源；

所述紫外灯管为蛇形排布，所述紫外灯管的尺寸与待清洁基板的尺寸匹配，所述紫外灯管用于对所述待清洁基板进行清洁处理；

所述供电电源与所述紫外灯管电连接，用于向所述紫外灯管供电。

2.根据权利要求1所述的紫外臭氧清洁设备，其特征在于，多组蛇形排布的紫外灯管构成阵列排布，所述阵列排布的多组紫外灯管的尺寸与所述待清洁基板的尺寸匹配。

3.根据权利要求1所述的紫外臭氧清洁设备，其特征在于，还包括：控制器；

所述控制器用于控制所述紫外灯管的电压，以控制所述紫外灯管输出的紫外光的中心波长。

4.根据权利要求1所述的紫外臭氧清洁设备，其特征在于，所述供电电源包括镇流器；

所述镇流器与所述紫外灯管电连接。

5.根据权利要求1所述的紫外臭氧清洁设备，其特征在于，所述紫外灯管两端具有金属套管，所述金属套管用于所述紫外灯管与所述供电电源进行电连接。

6.根据权利要求5所述的紫外臭氧清洁设备，其特征在于，还包括：硅胶电线；

所述硅胶电线用于所述紫外灯管两端的金属套管与所述供电电源进行电连接。

7.根据权利要求1所述的紫外臭氧清洁设备，其特征在于，还包括：不锈钢薄板；

所述不锈钢薄板用于所述紫外灯管散热和反射所述紫外灯管输出的紫外光。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的紫外臭氧清洁设备，其特征在于，所述紫外灯管的材料为石英，所述紫外灯管内填充汞蒸气，所述汞蒸气的气压低于阈值。

9.根据权利要求1-7任意一项所述的紫外臭氧清洁设备，其特征在于，所述紫外灯管输出的紫外光的中心波长范围为150纳米-400纳米。

10.根据权利要求1-7任意一项所述的紫外臭氧清洁设备，其特征在于，还包括：外壳；

所述外壳用于保护所述紫外灯管。