[实用新型]一种用于晶圆的顶针接触式测距装置

权利要求书

1.一种用于晶圆的顶针接触式测距装置，其特征在于，该装置包括Y向移动机构以及分别设置在Y向移动机构上的伸缩式顶针单元、接近传感器触发机构、限位保护机构，所述的伸缩式顶针单元分别与接近传感器触发机构、限位保护机构相适配。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的顶针接触式测距装置，其特征在于，所述的Y向移动机构包括拖链(15)、设置在拖链(15)一端的拖链固定件(17)、设置在拖链(15)另一端的拖链连接件(16)以及与拖链连接件(16)相连的Y向移动座(18)，所述的伸缩式顶针单元、接近传感器触发机构及限位保护机构均设置在Y向移动座(18)上。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆的顶针接触式测距装置，其特征在于，所述的伸缩式顶针单元包括设置在Y向移动座(18)上的Y向滑轨机构、移动设置在Y向滑轨机构上的顶针机构以及与顶针机构相适配的弹簧机构。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆的顶针接触式测距装置，其特征在于，所述的Y向滑轨机构包括设置在Y向移动座(18)上的滑轨座(13)以及设置在滑轨座(13)上的Y向滑轨(14)，所述的顶针机构移动设置在Y向滑轨(14)上。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆的顶针接触式测距装置，其特征在于，所述的顶针机构包括移动设置在Y向滑轨(14)上的顶针固定件(11)以及沿Y向设置在顶针固定件(11)底部的顶针(12)。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆的顶针接触式测距装置，其特征在于，所述的弹簧机构包括设置在顶针固定件(11)顶部的连接件(10)、设置在连接件(10)上的弹簧下连接件(9)、设置在Y向移动座(18)上并位于弹簧下连接件(9)上方的弹簧上连接件底座(4)、设置在弹簧上连接件底座(4)上的弹簧上连接件(5)以及设置在弹簧上连接件(5)与弹簧下连接件(9)之间的弹簧(6)。

7.根据权利要求6所述的一种用于晶圆的顶针接触式测距装置，其特征在于，所述的接近传感器触发机构包括设置在Y向移动座(18)上的接近传感器支撑件(7)以及设置在接近传感器支撑件(7)上并与连接件(10)相适配的接近传感器(8)。

8.根据权利要求7所述的一种用于晶圆的顶针接触式测距装置，其特征在于，所述的接近传感器(8)位于连接件(10)的下方。

9.根据权利要求6所述的一种用于晶圆的顶针接触式测距装置，其特征在于，所述的限位保护机构包括设置在Y向移动座(18)上的光电传感器底座(1)以及设置在光电传感器底座(1)上的光电传感器(2)，所述的连接件(10)上设有与光电传感器(2)相适配的光电传感器触发件(3)。

10.根据权利要求9所述的一种用于晶圆的顶针接触式测距装置，其特征在于，所述的光电传感器(2)位于连接件(10)的上方。