[实用新型]微波发射天线以及电子回旋共振加热系统

说明书

本公开涉及一种微波发射天线以及电子回旋共振加热系统，该微波发射天线包括壳体、波导管、聚焦镜以及平面镜；波导管的微波输入口用于与波源连接；聚焦镜与壳体相对固定，且聚焦镜的镜面朝向波导管的微波输出口，聚焦镜用于聚焦并反射波导管输出的微波；平面镜的镜面与聚焦镜的镜面相对设置，平面镜用于反射经过聚焦镜反射的微波；还包括驱动机构，驱动机构用于驱动平面镜转动，以调整经平面镜反射的微波的注入角度，从而通过驱动机构控制平面镜转动，实现微波注入角度的调节。

技术领域

本公开涉及微波传输技术领域，尤其涉及一种微波发射天线以及电子回旋共振加热系统。

背景技术

电子回旋共振加热系统包括微波波源和微波发射天线。具体使用时，微波从微波波源输出，然后经传输线传输至微波发射天线，微波发射天线用于将微波沿特定方向注入至待加热区域，实现等离子体的加热。其中，微波发射天线包括聚焦镜和平面镜，聚焦镜用于聚焦并反射波源发出的微波，平面镜用于反射经过聚焦镜反射的微波，使微波由等离子体真空加热装置的微波注入口进入至待加热区域。

然而，利用现有的微波发射天线向待加热区域注入微波时，存在微波注入方向受限的问题，影响等离子体的加热效果。

实用新型内容

为了解决上述技术问题或者至少部分地解决上述技术问题，本公开提供了一种微波发射天线以及电子回旋共振加热系统。

第一方面，本公开提供了一种微波发射天线，包括壳体和设置在壳体内的波导管、聚焦镜以及平面镜；

波导管的微波输入口用于与波源连接；聚焦镜与壳体相对固定，且聚焦镜的镜面朝向波导管的微波输出口，聚焦镜用于聚焦并反射波导管输出的微波；平面镜的镜面与聚焦镜的镜面相对设置，平面镜用于反射经过聚焦镜反射的微波；

还包括驱动机构，驱动机构用于驱动平面镜转动，以调整经平面镜反射的微波的注入角度。

可选的，驱动机构包括第一驱动组件和第二驱动组件；

第一驱动组件用于驱动平面镜沿第一方向转动，以调整平面镜的镜面的方位角度；

第二驱动组件用于驱动平面镜沿第二方向转动，以调整平面镜的镜面的俯仰角度。

可选的，第一驱动组件包括第一支撑件和可周向转动的第一驱动杆；

平面镜设置在第一支撑件上，第一支撑件与第一驱动杆的一端连接且相对固定；第一驱动杆用于带动第一支撑件和平面镜沿第一方向转动。

可选的，第一支撑件为U形支架，U形支架的开口两端分别可转动的连接在平面镜的两侧。

可选的，第二驱动组件包括第二支撑件和可轴向移动的第二驱动杆；

第二支撑件的一端与第二驱动杆连接且相对固定，第二支撑件的另一端与平面镜转动连接；第二驱动杆用于带动第二支撑件沿第二驱动杆的轴向移动，以使平面镜在第二支撑件的驱动下沿第二方向转动。

可选的，第一驱动杆为两端开口的中空筒状结构，第一驱动杆套设在第二驱动杆的外侧；

壳体上开设有用于供第一驱动杆和第二驱动杆穿过的通孔，且第一驱动杆与通孔的配合处密封设置。

可选的，壳体内设置有固定杆，固定杆用于支撑固定聚焦镜；

固定杆与壳体可拆卸式连接。

可选的，在沿波导管的轴向上，聚焦镜的镜面中心所处的高度与平面镜的镜面中心所处的高度不同。

可选的，壳体的外周设置有真空密封法兰，壳体通过真空密封法兰连接在预设安装位置。

第二方面，本公开提供一种电子回旋共振加热系统，包括如上所述的微波发射天线。