[实用新型]电子级三（二甲氨基）硅烷的合成装置

权利要求书

1.一种电子级三(二甲氨基)硅烷的合成装置，其特征在于，所述电子级三(二甲氨基)硅烷的合成装置包括：

原料预混合装置(100)，所述原料预混合装置(100)设置有氯接收剂入口(101)、氯化二甲氨入口(102)、溶剂入口(103)和混合液出口(104)，所述原料预混合装置(100)为搅拌器或静态混合装置；

反应单元(200)，所述反应单元(200)设置有三氯氢硅入口(211)、惰性气氛入口(212)、混合液入口(213)和粗产品出口(214)，所述混合液入口(213)与所述混合液出口(104)连通设置；

加压装置(300)，所述加压装置(300)用于调节所述反应单元(200)中的压力；及

纯化单元(400)，所述纯化单元(400)设置有纯化入口和排料口，所述纯化入口与所述粗产品出口(214)通过粗产品输送管路连通设置。

2.根据权利要求1所述的电子级三(二甲氨基)硅烷的合成装置，其特征在于，所述反应单元(200)包括：

反应装置(210)，所述反应装置(210)设置有所述混合液入口(213)、所述三氯氢硅入口(211)和合成产物出口；

精馏装置(220)，所述精馏装置(220)设置蒸馏入口(221)、塔顶产物出口(222)和所述粗产品出口(214)，所述蒸馏入口(221)与所述合成产物出口连通设置。

3.根据权利要求1或2所述的电子级三(二甲氨基)硅烷的合成装置，其特征在于，所述纯化单元(400)包括：

络合装置(410)，所述络合装置(410)设置有金属络合剂入口、所述纯化入口和络合产物出口，所述纯化入口与所述粗产品出口(214)连通；及

除杂装置(420)，所述除杂装置(420)设置有过滤入口和电子级三(二甲氨基)硅烷出口，所述过滤入口与所述络合产物出口通过络合产物输送管路连通。

4.根据权利要求3所述的电子级三(二甲氨基)硅烷的合成装置，其特征在于，所述络合装置(410)的内部设置有金属络合剂层(411)，所述金属络合剂层(411)选自有机磷酸盐层、氨基羟酸层或羟氨基羟酸层。

5.根据权利要求4所述的电子级三(二甲氨基)硅烷的合成装置，其特征在于，所述有机磷酸盐层选自乙二胺四甲叉膦酸钠层、二乙烯三胺五甲叉膦酸盐层或氨基三甲叉膦酸盐层；

所述氨基羟酸层选自氮川三乙酸钠层、乙二胺四醋酸层、乙二胺四醋酸盐层、二乙烯三胺五醋酸或二乙烯三胺五醋酸盐层；

所述羟氨基羟酸层选自羟乙二胺四醋酸层、乙二醇双(β-二氨基乙基)乙醚-N,N,N’,N’四醋酸层或二羟基甘氨酸层。

6.根据权利要求5所述的电子级三(二甲氨基)硅烷的合成装置，其特征在于，所述纯化单元(400)还包括：

重沸装置(430)，所述重沸装置(430)设置有重沸入口和重沸气出口，所述重沸入口与所述络合产物出口连通；及

吸附装置(440)，所述吸附装置(440)设置有重沸气入口和气相产物出口，所述重沸气入口与所述重沸气出口连通，所述气相产物出口与所述过滤入口通过气相产物输送管路连通。

7.根据权利要求6所述的电子级三(二甲氨基)硅烷的合成装置，其特征在于，所述纯化单元(400)还包括亚沸精馏装置(450)，所述亚沸精馏装置(450)设置在所述气相产物输送管路上。

8.根据权利要求2所述的电子级三(二甲氨基)硅烷的合成装置，其特征在于，所述电子级三(二甲氨基)硅烷的合成装置还包括：固渣过滤装置(230)和输送装置(240)，沿物料的流动方向，所述固渣过滤装置(230)和所述输送装置(240)依次设置在所述反应装置(210)与所述精馏装置(220)之间的粗产品输送管路上。