[实用新型]一种晶圆传送用机械臂

说明书

本实用新型公开了一种晶圆传送用机械臂，涉及晶圆传送技术领域，针对现有的部分晶圆传送用机械臂缺乏保护装置，晶圆在运输过程中易滑动脱落摔损，造成不必要损失的问题，现提出如下方案，其包括基座，所述基座顶部转动设置有旋盘，所述基座的内部固定安装有第一电机，所述第一电机的输出轴贯穿延伸至基座外部并与旋盘固定相连，所述旋盘的顶部固定设置有立柱，所述立柱的内部开设有空腔，所述空腔的内部转动设置有呈竖直设置的螺杆，所述立柱的顶部固定设置有第二电机。本实用新型结构新颖，不仅实现了对晶圆在传送过程中的有效保护，且便于对多工位的晶圆进行拿取和传动，提高了实用性，适宜推广。

技术领域

本实用新型涉及晶圆传送技术领域，尤其涉及一种晶圆传送用机械臂。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。

在晶圆的生产加工过程中会使用到机械臂进行转移，现有的部分机械臂缺乏保护装置，晶圆在运输过程中易滑动脱落摔损，造成不必要的损失。因此，为了解决此类问题，我们提出一种晶圆传送用机械臂。

实用新型内容

本实用新型提出的一种晶圆传送用机械臂，解决了现有的部分晶圆传送用机械臂缺乏保护装置，晶圆在运输过程中易滑动脱落摔损，造成不必要损失的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种晶圆传送用机械臂，包括基座，所述基座顶部转动设置有旋盘，所述基座的内部固定安装有第一电机，且所述第一电机的输出轴贯穿延伸至基座并与旋盘固定相连，所述旋盘的顶部固定设置有立柱，所述立柱的内部开设有空腔，且所述空腔的内部转动设置有呈竖直设置的螺杆，所述立柱的顶部固定设置有第二电机，所述第二电机的输出轴竖直向下设置，且所述第二电机的输出轴贯穿延伸至空腔内部并与螺杆固定相连，所述立柱的一侧沿其竖直方向开设有贯通空腔的滑槽，所述螺杆上螺纹套设有滑块；

所述滑块靠近滑槽的一侧延伸至立柱的外部并固定连接有第一伸缩杆，所述第一伸缩杆远离立柱的一端固定连接有第二伸缩杆，且所述第二伸缩杆远离第一伸缩杆的一端固定连接吸盘，所述第二伸缩杆靠近吸盘的一端设置有保护机构。

优选的，所述滑块与空腔的内壁滑动接触。

优选的，所述第一伸缩杆与立柱相互垂直设置，且所述第二伸缩杆与第一伸缩杆呈相互垂直设置。

优选的，所述保护机构包括支架、连接环、连接臂、保护托板、连接杆和连接管，所述第二伸缩杆的固定段的两侧壁上均固定连接有支架，所述支架呈U型设置且呈对称分布，且所述支架的中段铰接有连接环，两个所述连接环上均固定设置有连接臂，且两个所述连接臂的端部均固定设置有保护托板，所述第二伸缩杆的活塞杆的两侧壁上均铰接有连接杆，两个所述连接杆呈对称分布，且两个所述连接杆远离第二伸缩杆的一端均滑动套设有连接管，两个所述连接管远离连接杆的一端均与同侧的连接环固定相连。

优选的，所述连接臂与同侧的连接管呈相互垂直设置，且所述保护托板与相连的连接臂呈垂直设置。

优选的，两个所述保护托板呈相向设置，且两个所述保护托板顶部均开设有凹槽并与吸盘的底端对应匹配。

本实用新型的有益效果为：

1、通过保护机构的设置，在晶圆的传送过程中，保护托板能够对晶圆起到托承保护作用，有效避免晶圆意外脱落时，直接落至地面而损坏。

2、通过第一电机、旋盘、立柱、第二电机、螺杆和滑块的设置，利用第一电机带动旋盘转动，进而可带动立柱及其相连整体进行转向，通利用第二电机带动螺杆转动，进而实现滑块沿着空腔的内壁进行竖直方向的滑动，由于第一伸缩杆与滑块固定相连，进而通过第一电机、第二电机、第一伸缩杆与第二伸缩杆的协同驱动，可实现对多工位的晶圆的拿取和传送。