[实用新型]一种ALD淀积系统

权利要求书

1.一种ALD淀积系统，包括壳体(1)和连接管(4)，其特征在于：所述壳体(1)的下方固定连接有支撑脚(2)，且壳体(1)的内部开设有螺纹槽(3)，所述连接管(4)位于螺纹槽(3)的内部，且连接管(4)的上方固定连接有连接盘(5)，所述连接盘(5)的上方固定连接有密封垫(6)，所述连接管(4)的下方水平安设有固定管(7)，且固定管(7)的下方固定连接有第一通道(8)，所述第一通道(8)的下方水平安设有安装罩(9)，且安装罩(9)的内部活动连接有过滤网(10)，所述安装罩(9)的右侧固定连接有卡块(11)，且卡块(11)的后端开设有卡槽(12)，所述安装罩(9)的下方固定连接有第二通道(13)，且第二通道(13)的下方水平安设有脉冲室(14)，所述脉冲室(14)的下方水平安设有沉积基体(15)，且沉积基体(15)的下方水平安设有固定座(16)，所述固定座(16)的内部开设有定位槽(17)，且定位槽(17)的内部活动连接有定位块(18)，所述定位块(18)的下方固定连接有橡胶块(19)。

2.根据权利要求1所述的一种ALD淀积系统，其特征在于：所述连接管(4)的上表面与连接盘(5)的下表面之间紧密贴合，且连接盘(5)的中轴线与密封垫(6)的中轴线相重合。

3.根据权利要求1所述的一种ALD淀积系统，其特征在于：所述第一通道(8)呈等距状安置于固定管(7)的下表面，且第一通道(8)的下表面与安装罩(9)的上表面之间紧密贴合。

4.根据权利要求1所述的一种ALD淀积系统，其特征在于：所述安装罩(9)的中轴线与过滤网(10)的中轴线相重合，且卡块(11)呈对称状安置于安装罩(9)的左右两侧。

5.根据权利要求1所述的一种ALD淀积系统，其特征在于：所述卡块(11)的外部尺寸与卡槽(12)的内部尺寸相吻合，且安装罩(9)通过卡块(11)与卡槽(12)构成滑动结构。

6.根据权利要求1所述的一种ALD淀积系统，其特征在于：所述固定座(16)的下表面与壳体(1)的内表面之间紧密贴合，且定位槽(17)呈对称状安置于固定座(16)的内部。

7.根据权利要求1所述的一种ALD淀积系统，其特征在于：所述定位块(18)的上表面与沉积基体(15)的下表面之间紧密贴合，且定位块(18)的中轴线与橡胶块(19)的中轴线相重合。