[实用新型]一种自动化半导体纳米电热膜除膜机有效

专利信息
申请号: 202122030948.X 申请日: 2021-08-26
公开(公告)号: CN215846353U 公开(公告)日: 2022-02-18
发明(设计)人: 罗浩;杨小华;蔡建财 申请(专利权)人: 福建晶烯新材料科技有限公司
主分类号: B23K26/36 分类号: B23K26/36;B23K26/70;B23K26/142;B23K26/08
代理公司: 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 代理人: 谢秀娟
地址: 364000 福建省龙岩市新*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 自动化 半导体 纳米 电热
【说明书】:

实用新型涉及一种自动化半导体纳米电热膜除膜机。本实用新型采用光纤激光器输出激光,再经高速扫描振镜系统实现激光除膜功能,对半导体纳米电热膜发热片的电热膜除膜效率高且精度较高,具有较高可靠性且可以精准控制除膜时的深度、光滑度、精细度。而激光打标头采用光线激光器具有较高的光电转换效率,通过自然风冷方式,整体能耗低,运行稳定可满足工业生产环境,整机体积较小,能耗低,加工效率高且加工效果更好。

技术领域

本实用新型涉及激光除膜设备技术领域,具体为一种自动化半导体纳米电热膜除膜机。

背景技术

半导体纳米电热膜是新一代的发热材料。它的发热方式不同于传统金属电阻丝。它具有抗腐蚀,抗氧化,耐温度骤变,绝缘,阻燃,防潮,硬度高,无毒,无有害辐射,无不良物质排放等优良的物理化学性质。它零感抗,功率因素为1。并且以面状发热,热传递效果好,电热转换效率高:80%~97%,具有较好的节能优势。寿命长,不易衰减等显著优点。

但由于半导体纳米电热膜镀膜技术是将一整个面经过高温环境镀膜在基体上,较难实现局部镀膜。然后在两侧电极处接上电源通电工作发热。但超出接电电极区域也会存在导电电热膜膜层,造成未发热区域存在漏电问题。若镀膜工艺不成熟的,还会在未镀膜背面也镀上了少量导电电热膜层,在通电时本是基体结缘面镀上了电热膜层也将存在感应电压,使得本身绝缘的基体变成导体,造成漏电,跳闸等危险,严重影响使用效果。

为了解决这一镀膜缺陷,目前运用耐高温,耐腐蚀的金属,非金属泥浆等材料,将其覆盖在镀膜基体上无需镀膜的地方。但这种方式将严重影响制作生产的效率,降低产量,增大人工成本,且在镀膜时高温气流状态下,覆盖的材质存在热胀冷缩,在气流状态下偏移等问题,导致误差较大,无法精准完全覆盖无需镀膜的区域,成品率降低。由于半导体纳米电热膜在除膜时对除膜厚度要求和位置定位的精准度要求较为严格,因此需要一套更加合适的设备来完成对半导体纳米电热膜的除膜工作。

实用新型内容

鉴于现有技术中所存在的问题,本实用新型公开了一种自动化半导体纳米电热膜除膜机,采用的技术方案是,包括基座,所述基座下表面固定安装有滚轮,所述基座侧面开设有储物柜,所述储物柜中放置有吸尘器主机和电脑主机,所述基座上部固定安装有上壳体,所述上壳体内腔中在所述基座上表面安装有激光除膜装置、传送装置,激光除膜装置采用横向和纵向两自由度移动,所述传送装置位于所述激光除膜装置下方中间位置且从所述上壳体侧面伸出,所述传送装置上表面两侧安装有侧边限位装置,所述上壳体顶部安装有警示灯,正面左侧镶嵌安装有主控单元,正面右侧镶嵌安装有电脑显示屏,所述电脑显示屏下方在所述上壳体上安装有键盘,所述激光除膜装置、所述电脑显示屏、键盘分别与所述电脑主机电性连接,所述激光除膜装置、传送装置、警示灯、侧边限位装置、吸尘器主机、电脑主机分别与所述主控单元电性连接,通过主控单元和电脑主机控制激光除膜装置的除膜运动轨迹、除膜深度等,所述吸尘器主机通过软管与所述激光除膜装置连通连接,在除膜过程中可以通过吸尘器主机直接将产生的烟尘等抽走,避免有害气体的排出。

作为本实用新型的一种优选方案,所述上壳体正面中间位置转动安装有仓门,所述仓门两侧通过气压伸缩杆与所述上壳体连接,通过气压伸缩杆对仓门有支撑作用,保证仓门打开后的稳定,所述仓门正面安装有护目观察窗,通过护目观察窗可以观察内部加工情况,而不会被激光的光亮伤到眼睛,所述上壳体正面右侧转动配合安装有键盘放置台,与所述键盘放置台相对应的所述上壳体上开设有收纳腔,所述键盘卡扣放置在所述键盘放置台上,从而可以旋转折叠键盘放置台将键盘与键盘放置台一同收纳到收纳腔中,所述上壳体左侧端面下方开设有出料槽口,所述传送装置从所述出料槽口处伸出,加工完成的产品在传送装置的传送下从出料槽口处送出。

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