[实用新型]一种等离子刻蚀机的电极屏蔽装置

权利要求书

1.一种等离子刻蚀机的电极屏蔽装置，包括电极柱本体(1)、屏蔽护板(2)和第一立柱(3)，其特征在于，所述电极柱本体(1)的圆周侧壁套设有两个结构相同的屏蔽护板(2)，一个所述屏蔽护板(2)的侧壁固定安装有两个结构相同的第一立柱(3)；

另一个所述屏蔽护板(2)的侧壁固定安装有两个结构相同的第二立柱(6)，两个所述屏蔽护板(2)相互远离的一侧滑动安装有两个结构相同的插销(14)，所述插销(14)相互靠近的一端延伸至屏蔽护板(2)的内部固定安装有防护板(4)，所述第二立柱(6)靠近第一立柱(3)的一侧固定安装有固定杆(7)，所述第一立柱(3)远离第二立柱(6)的一侧固定安装有固定柱(8)，所述固定柱(8)和固定杆(7)之间设置有固定机构。

2.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机的电极屏蔽装置，其特征在于，两个所述防护板(4)靠近电极柱本体(1)的一侧均设置有防护垫，且防护垫与电极柱本体(1)的侧壁相贴合。

3.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机的电极屏蔽装置，其特征在于，所述防护板(4)远离电极柱本体(1)的一侧固定安装有多个结构相同的第一弹簧(5)，所述第一弹簧(5)远离防护板(4)的一端与屏蔽护板(2)的内壁固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机的电极屏蔽装置，其特征在于，所述固定机构包括连接板(13)、连接柱(15)和第一限位柱(9)，所述固定柱(8)的侧壁固定安装有第一限位柱(9)，所述固定杆(7)内部滑动安装有连接板(13)，所述连接板(13)靠近固定柱(8)的一侧固定安装有连接柱(15)。

5.根据权利要求4所述的一种等离子刻蚀机的电极屏蔽装置，其特征在于，所述连接柱(15)远离连接板(13)的一端固定安装有第二限位柱(10)，所述第二限位柱(10)和第一限位柱(9)之间相互卡合。

6.根据权利要求4所述的一种等离子刻蚀机的电极屏蔽装置，其特征在于，所述连接板(13)远离连接柱(15)的一端固定安装有第二弹簧(12)，所述第二弹簧(12)远离连接板(13)的一端与固定杆(7)的内壁固定连接，所述连接板(13)远离第二立柱(6)的一侧固定安装有按钮(11)，所述按钮(11)远离连接板(13)的一端延伸至固定杆(7)的外部。