[实用新型]显微光电流测试装置

权利要求书

1.一种显微光电流测试装置，其特征在于，所述显微光电流测试装置包括入射光源、光谱仪、光束切换装置和显微物镜，其中：

所述入射光源与所述光谱仪的入射端连接，所述光谱仪的出射端通过光纤组件与所述光束切换装置的入射端连接，所述光束切换装置上设置有光线反射装置，以将所述光纤组件发射的光线垂直地射入至所述显微物镜中。

2.如权利要求1所述的显微光电流测试装置，其特征在于，所述显微光电流测试装置还包括聚焦装置，所述聚焦装置的入射端与所述入射光源连接，所述聚焦装置的出射端与所述光谱仪的入射端连接。

3.如权利要求1所述的显微光电流测试装置，其特征在于，所述光纤组件包括光纤和光纤准直器，所述光纤的一端与所述光谱仪的出射端连接，所述光纤的另一端通过所述光纤准直器与所述光束切换装置的入射端连接。

4.如权利要求1所述的显微光电流测试装置，其特征在于，所述显微光电流测试装置还包括激光器，所述光束切换装置能移动地将所述激光器所发射的光线垂直地射入至所述显微物镜中。

5.如权利要求4所述的显微光电流测试装置，其特征在于，所述光束切换装置为移动平台，通过移动所述移动平台，以切换所述光纤组件所发射的光线或者所述激光器所发射的光线入射到所述显微物镜中。

6.如权利要求1所述的显微光电流测试装置，其特征在于，所述显微物镜的下方设置有可移动位置的探针台，所述探针台上放置有测试物品。

7.如权利要求6所述的显微光电流测试装置，其特征在于，所述显微光电流测试装置还包括监控相机和调节所述物品的反射光角度的切换结构，所述切换结构能移动或者转动地设置于所述显微物镜的上方，所述监控相机设置于所述切换结构的一侧，通过所述切换结构调控所述物品的反射光射入至所述监控相机中。

8.如权利要求7所述的显微光电流测试装置，其特征在于，所述切换结构为半透半反镜片。

9.如权利要求8所述的显微光电流测试装置，其特征在于，所述半透半反镜片与所述显微物镜之间设置有照明光源。

10.如权利要求1所述的显微光电流测试装置，其特征在于，所述入射光源为白光光源。