[实用新型]一种复合型超纯氨自动充装系统

说明书

本实用新型公开了一种复合型超纯氨自动充装系统，超纯氨产品储罐通过隔膜压缩机连接于气动洁净阀门，超纯氨产品储罐通过输送管连接于气动洁净阀门，超纯氨产品储罐通过高纯低温液体充装泵连通于气动洁净阀门，气动洁净阀门分别连接有第一充装管、第二充装管和第三充装管，第一充装管连接钢瓶，第二充装管连接氨储罐的液相出入口，第三充装管连接超纯氨槽车的液相出入口。本实用新型有益效果：本实用新型设置有多种充装方式，可以满足不同规格尺寸的钢瓶充装；超纯氨槽车、钢瓶和氨储罐在充装时均放置在地磅上；地磅感应到充装重量到了反馈至充装泵或电磁阀门，进行自动关闭，进而实现自动充装效果。

技术领域

本实用新型涉及气体充装技术领域,尤其是一种复合型超纯氨自动充装系统。

背景技术

超纯氨是指99.9999％(6N)或者以上的氨。超纯氨主要应用于新型光电子材料领域，是MOCVD技术制备GaN的重要基础材料。同时，超纯氨也是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的成膜等工艺。

高纯气体的充装是一个很重要的环节，操作不当容易污染产品；针对上述问题中国专利公开了一些技术方案如下：

1、一种高纯氨充装系统及利用其充装高纯氨的充装方法(公开号：CN105864630B)，包括产品缓冲罐、产品罐和冷却装置，产品缓冲罐连接高纯氨生产线的采出端，其上装有第一液位计，产品缓冲罐的液相接口通过第一液相管线与产品罐的液相接口连接，通过第二液相管线经充装站与槽车的液相接口连接，产品罐的气相接口通过产品罐气相管线经充装站与槽车的气相接口连接，在第一液相管线、第二液相管线及产品罐气相管线上分别设置有控制各管线通断的阀门，产品罐上设置有第二液位计和温度传感器，冷却装置用于对产品罐冷却降压。采用本发明中的充装系统及充装方法能有效避免充装过程中的污染，保证产品纯度，并能有效降低充装能耗，具有很好的实用性；采用了冷却法充装。

2、一种电子级超纯氨自动充装装置(公开号：CN102352957B)，包括超纯氨储罐、充装泵、储氨钢瓶和清洁泵，所述超纯氨储罐与充装泵之间设有第一主管路连接，充装泵与储氨钢瓶之间设有第二主管路连接，在第二主管路上设有第一支管路连接到工业氨回收罐，在第二主管路上设有第二支管路连接到清洁泵，清洁泵与工业氨回收罐之间设有第三支管路连接；第一主管路上设有第一阀门，第二主管路上位于充装泵和第一支管路之间的部分设有第二阀门，第一支管路上设有第三阀门，第二支管路上设有第四阀门。另外，本发明还提供一种使用上述电子级超纯氨的自动充装装置的充装方法。本发明结构简单合理，制造使用方便，充装过程中无须工人在场，实现充装过程的自动控制；采用洁净泵充装。

3、一种超纯液氨充装设备(公开号：CN202884466 U)，包括超纯氨储罐、充装泵、储氨钢瓶和清洁泵，所述超纯氨储罐与充装泵之间设有第一主管路连接，充装泵与储氨钢瓶之间设有第二主管路连接，在第二主管路上设有第一支管路连接到工业氨回收罐，在第二主管路上设有第二支管路连接到清洁泵，清洁泵与工业氨回收罐之间设有第三支管路连接；第一主管路上设有第一阀门，第二主管路上位于充装泵和第一支管路之间的部分设有第二阀门，第一支管路上设有第三阀门，第二支管路上设有第四阀门。另外，本发明还提供一种使用上述电子级超纯氨的自动充装装置的充装方法。本发明结构简单合理，制造使用方便，充装过程中无须工人在场，实现充装过程的自动控制；采用压差法充装。

然而，上述现有技术中专利不能提供不同规格尺寸的钢瓶充装，也不能满足特殊客户对于特殊指标比如金属离子、水份、轻组分等不同程度的要求，不能满足不同充装速度的需求。

因此，对于上述问题有必要提出一种复合型超纯氨自动充装系统。

实用新型内容

针对上述现有技术中存在的不足，本实用新型的目的在于提供了一种复合型超纯氨自动充装系统，以解决上述问题。