[实用新型]激光扫描装置及具有其的三维制造系统

权利要求书

1.一种激光扫描装置，用于在成像平面(200)上进行扫描，包括框架(100)、激光发射单元(10)、调焦单元(20)以及偏转单元(30)，其特征在于，

所述激光扫描装置还包括有光束质量分析仪和控制器，其中：

所述光束质量分析仪用于测量所述激光发射单元(10)所发射的扫描光束入射至所述成像平面(200)中心位置的光斑形态的数据，所述光束质量分析仪与所述控制器电连接，用于将所述数据输入所述控制器；

所述控制器与所述激光发射单元(10)、所述偏转单元(30)以及所述调焦单元(20)均电连接。

2.根据权利要求1所述的激光扫描装置，其特征在于，所述框架(100)设置有位于所述激光发射单元(10)与所述调焦单元(20)之间的准直器(40)。

3.根据权利要求2所述的激光扫描装置，其特征在于，所述激光发射单元(10)与所述准直器(40)的入光口通过输出光纤(11)连接。

4.根据权利要求2所述的激光扫描装置，其特征在于，所述准直器(40)的出光口与所述调焦单元(20)的入光口连接，用以使所述准直器(40)输出的激光束经所述调焦单元(20)处理后，输出焦距可变的锥状激光束。

5.根据权利要求4所述的激光扫描装置，其特征在于，所述调焦单元(20)的出光口与所述偏转单元(30)入光口连接，用以使所述调焦单元(20)输出的锥状激光束经所述偏转单元(30)反射后输出扫描光束。

6.根据权利要求2所述的激光扫描装置，其特征在于，所述框架(100)还设置有光学基板(50)，所述准直器(40)、所述调焦单元(20)以及所述偏转单元(30)均设置于所述光学基板(50)，且所述准直器(40)的光轴、所述调焦单元(20)的光轴以及所述偏转单元(30)的入光口光轴同轴设置。

7.根据权利要求6所述的激光扫描装置，其特征在于，所述成像平面(200) 设置于所述框架(100)且与所述光学基板(50)平行。

8.根据权利要求1所述的激光扫描装置，其特征在于，所述偏转单元(30)包括输出轴相互垂直的X轴电机(31)与Y轴电机(33)，所述X轴电机(31)的输出轴设置有X轴反射镜(32)，所述Y轴电机(33)的输出轴设置有Y轴反射镜(34)。

9.根据权利要求8所述的激光扫描装置，其特征在于，所述X轴电机(31)与Y轴电机(33)均为音圈电机。

10.一种三维制造系统，其特征在于，包括如权利要求1～9中任意一项所述的激光扫描装置。