[实用新型]柔性共振型光学芯片及应用该芯片的传感器

权利要求书

1.柔性共振型光学芯片，其特征在于，包括：

承载件(1)，为柔性基底，使用柔性光透明聚合物材料；

低折射率缓冲层(2)，形成于所述承载件一表面。

2.如权利要求1所述的柔性共振型光学芯片，其特征在于，所述承载件(1)的材料为聚甲基丙烯酸甲酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯或聚二甲基硅氧烷中的一种。

3.如权利要求1所述的柔性共振型光学芯片，其特征在于，所述低折射率缓冲层(2)的材料为金、银或金银合金。

4.如权利要求1所述的柔性共振型光学芯片，其特征在于，还包括高折射率介质层(3)，形成于所述低折射率缓冲层(2)的非与承载件(1)接触的另一表面，使用光透明材料。

5.如权利要求4所述的柔性共振型光学芯片，其特征在于，所述高折射率介质层为TiO₂薄膜、SiO₂薄膜或Al₂O₃薄膜中的一种。

6.如权利要求4所述的柔性共振型光学芯片，其特征在于，还包括表面分子修饰层，形成于所述低折射率缓冲层(2)表面或者高折射率介质层(3)表面。

7.如权利要求1所述的柔性共振型光学芯片，其特征在于，还包括过渡薄膜，形成于所述承载件(1)和低折射率缓冲层(2)之间。

8.如权利要求7所述的柔性共振型光学芯片，其特征在于，所述过渡薄膜的材料为铬、钛、镍或钽中的一种，厚度1～5nm。

9.应用如权利要求1-8任一项所述柔性共振型光学芯片的传感器，其特征在于，包括：

棱镜耦合器(4)，位于所述承载件(1)非与低折射率缓冲层(2)接触的另一表面；

光源(5)，位于所述棱镜耦合器(4)的第一侧面；

线性起偏器(6)，位于所述光源(5)与棱镜耦合器(4)之间；

光电探测器(7)，位于所述棱镜耦合器(4)的第二侧面；

所述光源(5)发出的光经线性起偏器(6)产生线性偏振光以预设入射角入射所述棱镜耦合器(4)的第一侧面，在承载件(1)与低折射率缓冲层(2)界面处发生全反射，反射光从棱镜耦合器(4)的第二侧面输出后被光电探测器(7)接收。

10.如权利要求9所述的应用柔性共振型光学芯片的传感器，其特征在于，所述棱镜耦合器(4)为直角棱镜、半圆柱形棱镜或半球形棱镜；

当所述棱镜耦合器(4)为直角棱镜时，其第一侧面和第二侧面分别为两直角面，其底面为斜面，直角棱镜为等腰直角棱镜；

当所述棱镜耦合器(4)为半圆柱形棱镜或半球形棱镜，其第一侧面和第二侧面分别为对称的两弧形面，其底面为半圆柱形棱镜或半球形棱镜的平面。