[实用新型]一种快速清洗的真空镀膜设备有效

专利信息
申请号: 202122093480.9 申请日: 2021-09-01
公开(公告)号: CN216155950U 公开(公告)日: 2022-04-01
发明(设计)人: 杨林生 申请(专利权)人: 合肥聚盛真空科技有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22;B08B9/087;B08B9/093;B08B13/00
代理公司: 合肥三川专利代理事务所(普通合伙) 34150 代理人: 潘光亮
地址: 230000 安徽省合肥市经济技*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 快速 清洗 真空镀膜 设备
【说明书】:

实用新型公开了一种快速清洗的真空镀膜设备,涉及真空镀膜设备技术领域,包括镀膜箱体以及清洗组件,所述清洗组件包括储液箱、输液部件以及洗刷部件,储液箱顶部设置加液口,储液箱与镀膜箱体固定连接,所述输液部件一端与储液箱连接,另一端与洗刷部件连接;所述洗刷部件安装在镀膜箱体内,用于将储液箱内的清洗液喷洒至镀膜箱体内,所述转动部件带动转动套筒转动,所述转动套筒通过搅拌套筒带动刮板在镀膜箱体内转动,所述刮板对镀膜箱体内壁进行清洁,所述输液部件将储液箱内的液体输送至转动套筒以及搅拌套筒,所述喷孔将搅拌套筒内的清洗液喷洒至镀膜箱体内,进而实现对镀膜箱体内的清洗。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域,具体是一种快速清洗的真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体上凝固并沉积的方法,称为真空镀膜。

现有真空镀膜设备,在使用一段时间后,真空室的内壁必须要进行清洗处理,由于真空镀膜设备缺少清洗装置,使得真空镀膜设备在使用后,其内壁会附着一部分电镀液,影响真空镀膜设备的再次使用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种快速清洗的真空镀膜设备,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种快速清洗的真空镀膜设备,包括镀膜箱体以及清洗组件,所述清洗组件包括储液箱、输液部件以及洗刷部件,储液箱顶部设置加液口,储液箱与镀膜箱体固定连接,所述输液部件一端与储液箱连接,另一端与洗刷部件连接;

所述洗刷部件安装在镀膜箱体内,用于将储液箱内的清洗液喷洒至镀膜箱体内,所述洗刷部件包括转动套筒,所述转动套筒与镀膜箱体内壁转动连接,所述转动套筒两侧相对固定安装多组搅拌套筒,所述搅拌套筒远离转动套筒的一端与刮板固定连接,所述转动套筒与搅拌套筒连通,所述搅拌套筒表面均匀设置多组喷孔,所述转动套筒底端与转动部件连接,所述转动部件用于带动转动套筒转动,所述转动套筒顶端贯穿镀膜箱体顶壁与输液部件连接。

优选的,所述转动部件包括驱动电机,所述驱动电机固定安装在镀膜箱体底壁表面,所述驱动电机输出端固定连接主齿轮,所述转动套筒底部末端贯穿镀膜箱体延伸固定连接副齿轮,所述副齿轮与主齿轮啮合。

优选的,两侧所述刮板朝向镀膜箱体内侧壁的一端设置清洁刷,所述清洁刷用于对镀膜箱体内壁进行洗刷。

优选的,所述输液部件包括活塞缸,所述活塞缸固定安装在镀膜箱体顶壁表面一侧,所述活塞缸内设置活塞,所述活塞缸一侧通过进液管与储液箱连通,所述进液管与活塞缸间设置有仅限于进液的单向阀,所述活塞缸另一侧连接输液管,所述输液管与活塞缸间设置有仅限于排液的单向阀,所述输液管远离活塞缸的一端通过轴承与转动套筒转动连接,所述活塞一侧与带动其在活塞缸内往复移动的推动部件固定连接。

优选的,所述推动部件包括凸轮,所述转动套筒顶端固定安装凸轮,所述活塞朝向凸轮的一侧固定连接活塞杆,所述活塞杆贯穿活塞缸侧壁延伸固定连接推座,所述活塞缸朝向凸轮的一侧上下对称固定安装导杆,所述导杆表面设置伸缩弹簧,所述伸缩弹簧一端与活塞缸固定连接,另一端与滑座固定连接,所述滑座与导杆滑动连接,上下两侧所述滑座与推座固定连接。

优选的,所述储液箱内还设置有搅拌部件,所述搅拌部件包括转动杆,所述转动杆两端与储液箱内壁转动连接,所述转动杆两侧相对布置多组搅拌杆,所述转动套筒底端通过皮带以及皮带轮与转动杆传动连接。

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