[实用新型]一种多晶硅还原炉高压及调功接地检测系统

权利要求书

1.一种多晶硅还原炉高压及调功接地检测系统，其特征在于，包括：电连接的功率调节模块(1)、硅芯负载(2)、切换接触器(3)、高压电源模块(4)、高压接地检测模块(5)、硅棒电压检测模块(6)和高压控制柜(7)，所述高压接地检测模块(5)包括高压接地接触器(51)和接地检测电流互感器(52)；所述系统中包括4台高压电源模块(4)，用于提供4对硅芯或8对硅芯的高压击穿电源；或者，所述系统中包括6台高压电源模块，用于提供6对硅芯或12对硅芯的高压击穿电源；

所述高压电源模块(4)采用0电位接地方式接地，所述系统的接地点设置在高压电源模块(4)内部，通过高压接地接触器(51)合闸，经过接地检测电流互感器(52)后接入大地；其中，所述高压电源模块(4)和硅芯负载(2)通过高压电源接触器(41)和切换接触器(3)连接，为所述硅芯负载(2)提供高压击穿电源。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉高压及调功接地检测系统，其特征在于，所述硅芯负载(2)通过隔离断路器(12)与功率调节模块(1)连接，为硅棒正常生长提供调压电源；所述系统还包括功率柜接地检测单元(8)，所述功率调节模块(1)通过功率柜接地检测单元(8)接地。

3.根据权利要求2所述的一种多晶硅还原炉高压及调功接地检测系统，其特征在于，所述功率柜接地检测单元(8)包括接地电流互感器(81)和控制柜(82)；所述功率柜接地检测单元(8)将正常流过接地电流互感器(81)的第一实际电流Ig1，上传至所述控制柜(82)与设定电流Iset比较，若所述第一实际电流Ig1大于设定电流Iset，确定炉内发生接地情况。

4.根据权利要求3所述的一种多晶硅还原炉高压及调功接地检测系统，其特征在于，所述硅棒电压检测模块(6)包括电压检测真空接触器，即第一测量接触器(61)、第二测量接触器(62)、第三测量接触器(63)、第四测量接触器(64)和第五测量接触器(65)，所述硅棒电压检测模块(6)还包括电压互感器(66)。

5.根据权利要求4所述的一种多晶硅还原炉高压及调功接地检测系统，其特征在于，所述高压电源模块(4)内接入硅棒电压检测模块(6)中的电压检测真空接触器，当还原炉运行时，通过闭锁装置控制所述切换接触器(3)吸合后，所述电压检测真空接触器逐个吸合，实现对炉内硅芯负载电极点位对地电压的检测；

所述硅芯负载电极点位包括第一电极(21)、第二电极(22)、第三电极(23)、第四电极(24)和第五电极(25)；每个所述硅芯负载电极点位与电压检测真空接触器一一对应；

所述高压电源模块(4)包括第一组高压电源(42)、第二组高压电源(43)、第三组高压电源(44)和第四组高压电源(45)；其中，第一组高压电源(42)为第一对硅棒(26)提供高压电源，所述第二组高压电源(43)为第二对硅棒(27)提供高压电源，所述第三组高压电源(44)为第三对硅棒(28)提供高压电源，所述第四组高压电源(45)为第四对硅棒(29)提供高压电源；

所述第一对硅棒(26)、第二对硅棒(27)、第三对硅棒(28)和第四对硅棒(29)设置于硅芯负载(2)中。

6.根据权利要求5所述的一种多晶硅还原炉高压及调功接地检测系统，其特征在于，所述高压控制柜(7)包括PLC控制器(71)、电流变送器(72)和电压变送器(73)；

所述电流变送器(72)与高压接地检测模块(5)中的接地检测电流互感器(52)相连，用于将高压启动时检测到的对地电流送入PLC控制器(71)；

所述电压变送器(73)与硅棒电压检测模块(6)中的电压互感器(66)相连，用于将电压检测真空接触器吸合时检测到的硅芯负载电极点位的点位电压送入PLC控制器(71)。