[实用新型]一种真空镀膜设备用抽真空装置

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜设备用抽真空装置，涉及真空镀膜设备技术领域，包括真空泵本体，还包括：固定组件，所述固定组件安装在真空泵本体外侧，用于对真空泵本体进行固定，以及减震组件，所述减震组件包括竖向缓冲机构以及横向缓冲机构，所述竖向缓冲机构包括缓冲板，所述缓冲板表面相对布置两组缓冲杆，所述缓冲杆安装在真空泵本体两侧，缓冲杆外侧设置缓冲弹簧，缓冲弹簧在竖直方向对真空泵本体进行减震处理，所述伸缩套筒与伸缩弹簧配合在水平方向对真空泵本体进行减震处理，进而对真空泵本体进行全方位减震处理，有效避免在长时间的振动的过程中真空泵本体内部结构损坏，通过对真空泵体进行保护，有效延长了使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体是一种真空镀膜设备用抽真空装置。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。

现有真空镀膜设备用抽真空装置结构简单，在抽真空的过程中泵体会发生振动，由于泵体外侧并未设置有减震保护机构，长时间的运行后不仅影响设备的稳定性，而且真空泵的使用寿命也会降低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜设备用抽真空装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种真空镀膜设备用抽真空装置，包括真空泵本体，还包括：

固定组件，所述固定组件安装在真空泵本体外侧，用于对真空泵本体进行固定，以及

减震组件，所述减震组件包括竖向缓冲机构以及横向缓冲机构，所述竖向缓冲机构包括缓冲板，所述缓冲板表面相对布置两组缓冲杆，所述缓冲杆安装在真空泵本体两侧，所述缓冲杆外侧设置缓冲弹簧，所述缓冲弹簧一端与缓冲板固定连接，另一端与固定组件连接，所述横向缓冲机构包括相对布置在缓冲板一侧的伸缩套筒，所述伸缩套筒一端与安装机构固定连接，另一端通过支座与缓冲板固定连接，所述伸缩套筒外侧设置伸缩弹簧。

优选的，所述固定组件包括壳体以及夹持机构，所述真空泵本体安装在壳体内，所述夹持机构包括相对布置在壳体两侧的夹持板以及推动机构，所述推动机构与夹持板连接，用于推动两侧夹持板同时向内侧移动对壳体进行夹持固定。

优选的，所述壳体两侧相对设置紧固螺栓，所述紧固螺栓用于将真空泵本体固定在壳体内。

优选的，所述推动机构包括两组相对布置的L形支座，所述L形支座间设置紧固螺杆，所述紧固螺杆与L形支座螺纹连接，两侧所述紧固螺杆相互远离的一端与手柄固定连接，两侧所述紧固螺杆相互靠近的一端转动连接夹持板，所述L形支座底端与缓冲杆滑动连接。

优选的，两侧所述夹持板相互靠近的一侧设置缓冲垫，所述缓冲垫与壳体接触。

优选的，所述安装机构包括安装座，所述安装座通过支杆与安装板固定连接，所述安装板间相对设置多组定位销钉，所述定位销钉用于将安装板与真空镀膜设备可拆卸固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

通过固定组件对真空泵本体进行夹持固定，通过安装机构对真空泵本体进行定位安装，所述真空泵本体在运行的过程中会发生振动，在振动的过程中，所述缓冲弹簧在竖直方向对真空泵本体进行减震处理，所述伸缩套筒与伸缩弹簧配合在水平方向对真空泵本体进行减震处理，进而对真空泵本体进行全方位减震处理，有效避免在长时间的振动的过程中真空泵本体内部结构损坏，通过对真空泵体进行保护，有效延长了使用寿命。

附图说明