[实用新型]一种精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备

说明书

本实用新型公开了一种精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备，属于坩埚烤箱设备技术领域，其包括烤箱本体，所述烤箱本体的左侧面通过销轴设置有转动壳，所述转动壳设置在烤箱本体的背面，所述转动壳的背面卡接有冷却风扇，所述烤箱本体的正面设置有低温泵，所述烤箱本体的左侧面设置有导管。该精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备，通过设置发热体、加热壳、隔热层、冷却风机和低温泵，当该烤箱抽真空后，使得空气中的水分不易附着在坩埚内部，控制发热体和低温泵工作，坩埚表面杂质蒸发时产生的蒸气在低温泵的作用下从加热壳和内壳内抽出，该烤箱设备可对坩埚表面的水分和杂质进行清理，使得坩埚生产出产品的质量不易因水分和杂质而造成影响。

技术领域

本实用新型属于坩埚烤箱设备技术领域，具体为一种精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备。

背景技术

AMOLED蒸镀设备是必要的制程主设备，但蒸镀源更是一个关键点，蒸发源中有机材料或金属材料皆放置于坩埚内，再介由升温加热方式，使其蒸镀材料从坩埚内液化后再气化附着于AMOLED制程玻珤产品，坩埚在使用时外界的水气和杂质可能附着在其内部，使得坩埚的洁净度可能会受到污染，坩埚加工出产品的质量可能受到影响，因此需要一种精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备来解决上述问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型提供了一种精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备，解决了埚在使用时外界的水气和杂质可能附着在其内部，使得坩埚的洁净度可能会受到污染，坩埚加工出产品的质量可能受到影响的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备，包括烤箱本体，所述烤箱本体的左侧面通过销轴设置有转动壳，所述转动壳设置在烤箱本体的背面，所述转动壳的背面卡接有冷却风扇，所述烤箱本体的正面设置有低温泵，所述烤箱本体的左侧面设置有导管，所述导管左侧的一端与干式真空泵的右侧面固定连接。

所述烤箱本体的内壁设置有两个载板，所述载板的上表面与支撑板的下表面固定连接，两个支撑板的左右两侧面固定连接有同一个隔热层，所述隔热层内设置有加热壳，所述加热壳内壁的左右两侧面均固定连接有若干个发热体。

所述加热壳内壁的下表面设置有台车，所述台车的上表面设置有若干个坩埚，所述加热壳的右侧面通过合页与转动板的右侧面铰接，所述转动板的正面与加热壳的背面卡接，所述加热壳的正面设置有前风门，所述转动板的背面设置有后风门。

作为本实用新型的进一步方案：所述烤箱本体的下表面设置有支撑腿，所述支撑腿的下表面固定连接有防滑垫。

作为本实用新型的进一步方案：所述烤箱本体包括外壳和内壳，所述外壳和内壳之间设置有水冷腔。

作为本实用新型的进一步方案：所述外壳的左侧面与导管的右端固定连接，所述外壳的左侧面通过销轴与转动壳的左侧面铰接，所述外壳的下表面与两个支撑腿的上表面固定连接，所述内壳的内壁与两个载板的下表面固定连接。

作为本实用新型的进一步方案：所述前风门、冷却风扇、后风门和低温泵处于同一轴线，所述低温泵卡接在外壳的正面。

作为本实用新型的进一步方案：所述载板的截面形状设置为L形，所述支撑板的截面形状设置为L形。

作为本实用新型的进一步方案：所述前风门和后风门的截面形状均设置为圆形，所述隔热层和加热壳的截面形状均设置为矩形。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：