[实用新型]三氯氢硅合成炉换热装置有效
| 申请号： | 202122101678.7 | 申请日： | 2021-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN215598088U | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 万柏峰;孙亮;张文博;武红盼;李文娟 | 申请（专利权）人： | 唐山三孚硅业股份有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D9/00;F27D17/00;F27D21/00;C01B33/107 |
| 代理公司： | 唐山永和专利商标事务所 13103 | 代理人： | 张皓清 |
| 地址： | 063305 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 三氯氢硅 合成 炉换热 装置 | ||
1.一种三氯氢硅合成炉换热装置，其特征在于，采用分体式设计，包括冷却水供水单元，与冷却水供水机构连接的蒸汽回收单元，与三氯氢硅合成炉筒体连接的密封连接单元，对三氯氢硅合成炉换热装置进行压力检测的压力检测单元以及对三氯氢硅合成炉换热装置内混合气体输送的流出输送单元。
2.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅合成炉换热装置，其特征在于，冷却水供水单元包括设置在三氯氢硅合成炉换热装置顶部的供水法兰口，设置在供水法兰口下部的冷却水供水箱，设置在冷却水供水箱下部的换热装置上管板以及与换热装置上管板进行管板连接的合成炉换热管内管。
3.根据权利要求2所述的一种三氯氢硅合成炉换热装置，其特征在于，蒸汽回收单元包括与合成炉换热管内管连接的合成炉换热管外管，与合成炉换热管外管进行管板连接的换热装置下管板，设置在换热装置下管板上方的蒸汽回收箱以及设置在蒸汽回收箱侧部的蒸汽法兰口。
4.根据权利要求3所述的一种三氯氢硅合成炉换热装置，其特征在于，合成炉换热管内管和合成炉换热管外管均采用整体直焊的安装方式。
5.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅合成炉换热装置，其特征在于，密封连接单元包括与三氯氢硅合成炉筒体连接的连接法兰以及缠绕在连接法兰上的金属石墨缠绕垫。
6.根据权利要求3所述的一种三氯氢硅合成炉换热装置，其特征在于，压力检测单元包括设置在蒸汽回收箱侧部的检测法兰口以及设置在冷却水供水箱顶部的供水压力检测口。
7.根据权利要求3所述的一种三氯氢硅合成炉换热装置，其特征在于，流出输送单元包括设置在冷却水供水箱顶部的换热装置上封头以及设置在换热装置上封头中央的合成炉物料出口。
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