[实用新型]一种用于碳化硅晶片的检测装置有效
| 申请号： | 202122102247.2 | 申请日： | 2021-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN215599041U | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 申雪珍;邹宇;张平 | 申请（专利权）人： | 江苏天科合达半导体有限公司;北京天科合达半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆英静 |
| 地址： | 221000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 碳化硅 晶片 检测 装置 | ||
1.一种用于碳化硅晶片的检测装置，其特征在于，包括：
支撑架；
设置于所述支撑架上的晶片支撑组件，所述晶片支撑组件包括托板和用于支撑所述托板的支撑台，所述托板上设有能够使光源通过的第一透光孔、用于对碳化硅晶片进行支撑的晶片支撑台阶和能够使真空吸笔通过的避让槽，所述晶片支撑台阶沿所述第一透光孔的圆周开设，并且所述晶片支撑台阶能够与碳化硅晶片的外圆周相配合；以及
用于检测所述碳化硅晶片的目镜。
2.根据权利要求1所述的用于碳化硅晶片的检测装置，其特征在于，所述托板包括防静电板和硬度加强板，所述硬度加强板与所述防静电板粘合在一起，所述第一透光孔贯穿所述防静电板和所述硬度加强板。
3.根据权利要求2所述的用于碳化硅晶片的检测装置，其特征在于，所述硬度加强板设有限位凸台和限位凹槽中二者中的一个，所述支撑台上设有所述限位凸台和所述限位凹槽中二者中的另一个，并且所述限位凸台与所述限位凹槽能够互相配合。
4.根据权利要求3所述的用于碳化硅晶片的检测装置，其特征在于，所述限位凸台和所述限位凹槽均为方形。
5.根据权利要求2所述的用于碳化硅晶片的检测装置，其特征在于，所述防静电板的材质为改性合成树脂。
6.根据权利要求1所述的用于碳化硅晶片的检测装置，其特征在于，所述支撑台设有能够使光源通过的第二透光孔，所述第二透光孔的孔壁上涂抹有反光涂层。
7.根据权利要求6所述的用于碳化硅晶片的检测装置，其特征在于，所述第二透光孔的孔壁为弧线形，并且所述弧线形的圆心位于所述支撑台靠近所述托板的一侧。
8.根据权利要求1所述的用于碳化硅晶片的检测装置，其特征在于，还包括转动连接于所述支撑架的物镜转盘和安装于所述物镜转盘上的物镜。
9.根据权利要求1所述的用于碳化硅晶片的检测装置，其特征在于，所述晶片支撑组件还包括用于支撑所述支撑台的载物台。
10.根据权利要求1所述的用于碳化硅晶片的检测装置，其特征在于，所述避让槽为方形槽。
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