[实用新型]三氯氢硅合成炉差压变送器自动吹扫装置

说明书

本实用新型公开了一种三氯氢硅合成炉差压变送器自动吹扫装置，涉及三氯氢硅合成炉差压变送器吹扫技术领域。三氯氢硅合成炉差压变送器自动吹扫装置，包括三氯氢硅合成炉、差压变送器、电磁阀、过滤减压阀和氮气管，差压变送器通过正压引压管和负压引压管与三氯氢硅合成炉相连，正压引压管和负压引压管上分别通过管路连接一电磁阀，两个电磁阀的另一端口与过滤减压阀相连，过滤减压阀设置在氮气管上；电磁阀的电磁线圈与DCS控制系统电连接。本装置解决了负压侧引压管堵塞问题，保证了测量的准确性、稳定性，节约维护成本，提高工作效率，同时可进行手动单管或者双管吹扫来检测管路是否畅通，减少了人力物力。

技术领域

本实用新型涉及三氯氢硅合成炉差压变送器吹扫技术领域，尤其涉及一种三氯氢硅合成炉差压变送器自动吹扫装置。

背景技术

在三氯氢硅合成工艺中，生产运行时在线测量三氯氢硅合成炉的差压对稳定工艺过程、提高产品质量、降低原料消耗等起着重要作用。三氯氢硅合成炉的差压三氯氢硅生产的重要参数。一般情况下，三氯氢硅合成炉差压变送器的正压侧引压管不会堵塞，差压变送器的负压侧经常会堵塞，造成合成炉的压差不稳定，严重影响产品质量。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是三氯氢硅合成炉差压测量过程中随着时间的累积，负压侧引压管会造成堵塞，引起差压波动、差压测量不准确。为解决此技术问题，本实用新型提供了一种三氯氢硅合成炉差压变送器自动吹扫装置，保证引压管管路畅通，测量结果准确、稳定。

为实现此技术目的，本实用新型采用如下方案：三氯氢硅合成炉差压变送器自动吹扫装置，包括三氯氢硅合成炉、差压变送器、电磁阀、过滤减压阀和氮气管，差压变送器通过正压引压管和负压引压管与三氯氢硅合成炉相连，正压引压管和负压引压管上分别通过管路连接一电磁阀，两个电磁阀的另一端口分别与过滤减压阀出口相连，过滤减压阀的进口与氮气管连接；电磁阀的电磁线圈与DCS控制系统电连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：本实用新型通过在三氯氢硅合成炉引压管上连接氮气气源，通过DCS控制系统定时或手动控制电磁阀的开闭，对两根引压管同时清扫，保证引压管管路畅通和差压变送器的测量数值准确、稳定，节约维护成本，提高工作效率，同时能够进行手动单管或双管吹扫来检测引压管是否畅通，减少了人力物力。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的三氯氢硅合成炉差压变送器自动吹扫装置的结构示意图；

图中标记为：1、三氯氢硅合成炉；2、差压变送器；3、电磁阀；4、过滤减压阀；5、DCS控制系统；6、氮气管。

具体实施方式

为充分了解本实用新型之目的、特征及功效，借由下述具体的实施方式，对本实用新型做详细说明，但本实用新型并不仅仅限于此。

如图1所示，本实用新型提供的一种三氯氢硅合成炉差压变送器自动吹扫装置，由三氯氢硅合成炉1、差压变送器2、电磁阀3、过滤减压阀4和氮气管6组成，差压变送器2通过正压引压管与三氯氢硅合成炉1炉底相连，差压变送器2通过负压引压管与三氯氢硅合成炉1的炉顶相连，具体地，引压管通过球阀和转接头与合成炉连接，利用差压变送器2测量三氯氢硅合成炉1顶部和底部的压差。正压引压管和负压引压管上分别通过管路连接一个电磁阀3，两个电磁阀3的另一端口分别通过管路、三通转接头与过滤减压阀4的出口相连，过滤减压阀4的进口与氮气管6相连。每个电磁阀3的电磁线圈正负极与DCS控制系统5的一个输出端口正负极电连接，形成回路。两个电磁阀3为常闭电磁阀。优选地，DCS控制系统5采用和利时M6系统，过滤减压阀4采用FESTO型FRC-D-MINI过滤减压阀。