[实用新型]带高频逆变脉冲电源的等离子渗氮炉

权利要求书

1.带高频逆变脉冲电源的等离子渗氮炉，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)的内壁固定安装有阳极内胆(2)，所述炉体(1)的顶部固定安装有抽真空机构(3)，所述炉体(1)的左侧固定安装有进气机构(4)，所述炉体(1)的正面固定安装有开合门机构(5)；

所述炉体(1)内腔的底部固定安装有加热机构(6)，所述加热机构(6)的上方设置有阴极放料板(7)，所述阴极放料板(7)的两侧均固定安装有陶瓷安装座(8)，所述陶瓷安装座(8)的另一侧与炉体(1)的内壁固定安装；

所述炉体(1)的底部固定安装有配电箱(9)，所述配电箱(9)的内部固定安装有脉冲电源本体(10)，所述脉冲电源本体(10)的右侧设置有风冷机构(11)，所述风冷机构(11)固定安装在配电箱(9)的内部，所述脉冲电源本体(10)由可调直流电源、逆变电路、感应叠加模块、输出整流模块、脉冲输出、电压采样模块、反馈控制模块、PWM控制模块、驱动电路和快速短路保护模块所组成。

2.根据权利要求1所述的带高频逆变脉冲电源的等离子渗氮炉，其特征在于：所述抽真空机构(3)包括真空泵以及连通在真空泵上的输送管道，且该输送管道上固定安装有电磁阀。

3.根据权利要求1所述的带高频逆变脉冲电源的等离子渗氮炉，其特征在于：所述进气机构(4)包括抽气机以及连通在抽气机上的输气管道，且该输气管道上固定安装有电磁阀。

4.根据权利要求1所述的带高频逆变脉冲电源的等离子渗氮炉，其特征在于：所述开合门机构(5)包括电动缸和活动门，且活动门通过连接件与电动缸的推动端固定安装。

5.根据权利要求1所述的带高频逆变脉冲电源的等离子渗氮炉，其特征在于：所述可调直流电源由交流输出电源AC、软启动、全桥整流、全桥逆变、变压器和LC滤波电路所组成。

6.根据权利要求1所述的带高频逆变脉冲电源的等离子渗氮炉，其特征在于：所述逆变电路由开关器件、吸收电路和输出整流二极管所组成，所述开关器件选用MOSFET，所述吸收电路选用适合高频的RCD放电阻止型，所述输出整流二极管选择反向恢复时间短的高频二极管。

7.根据权利要求1所述的带高频逆变脉冲电源的等离子渗氮炉，其特征在于：所述驱动电路由高速光耦合器和高速MOSFET驱动器所组成，所述驱动电路由15V电压供电，输出为-5～10V的方波。