[实用新型]一种蓝宝石炉内抽真空装置

说明书

本实用新型设计了一种蓝宝石炉内抽真空装置，包括：底座和壳体，底座上安装有放置箱，放置箱上方安装有壳体，壳体底部中间设有放置盒，放置盒内设有坩埚，坩埚外部侧壁安装有加热器，壳体顶部位于同一水平线的两侧分别设有螺杆和滑杆，螺杆顶部与电机连接。螺杆和滑杆上套设有壳盖，壳盖两侧均设有抽气管道，抽气管道穿过壳盖延伸至壳体的一端安装有上磁铁，壳体内部上方两侧安装有连接板，壳盖下方中部安装有气缸，气缸的伸缩杆末端与籽晶连接，连接板两侧通孔四周围设有下磁铁，抽气管道上端与外部抽真空装置连接，壳体内部一侧安装有气体密度传感器。本实用新型可以准确控制抽真空开始时间，自动化程度高。

技术领域

本实用新型涉及真空技术领域，具体涉及一种蓝宝石炉内抽真空装置。

背景技术

蓝宝石，矿物名为刚玉，三方晶系结晶体，世界上硬度仅次于金刚石的晶体材料，因蓝宝石具有极高的强度、硬度、红外透过性能和抗热冲击性能，因此作为重要的技术晶体材料，背广泛应用在国防、军事、科研等一系列高科技技术领域。蓝宝石炉是重要的晶体生长设备，该设备的核心作用为利用高温将坩埚中的三氧化二铝原料融化，然后再通过引晶、降温等擦操作使原料发生晶相转变形成单晶。

现有技术存在的问题是：现有的蓝宝石炉所用的抽真空装置大多需要使用者用肉眼观察从而判断可以开始抽真空的时间，不够便捷，因此需要提供一种蓝宝石炉内抽真空装置，可以准确判断抽真空时间以及放入惰性气体的时间，使用便捷。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种蓝宝石炉内抽真空装置，以解决上述技术背景中提出的问题。

为解决上述问题，本实用新型提供如下技术方案：一种蓝宝石炉内抽真空装置，包括：底座和壳体，所述底座上安装有放置箱，所述放置箱上方安装有壳体，所述壳体底部中间设有放置盒，所述放置盒内设有坩埚，所述坩埚外部侧壁安装有加热器，所述壳体顶部位于同一水平线的两侧分别设有螺杆和滑杆，所述螺杆顶部与电机连接。

所述螺杆和滑杆上套设有壳盖，所述壳盖两侧均设有抽气管道，所述抽气管道穿过所述壳盖延伸至壳体的一端安装有上磁铁，所述壳体内部上方两侧安装有连接板，所述壳盖下方中部安装有气缸，所述气缸的伸缩杆末端与籽晶连接，所述连接板两侧通孔四周围设有下磁铁，所述抽气管道上端与外部抽真空装置连接，所述壳体内部一侧安装有气体密度传感器。

优选的，所述放置箱内设有惰性气体箱，所述惰性气体箱上方两侧上设有延伸至壳体内部的进气管道。

优选的，所述进气管道上安装有电磁阀。

优选的，所述壳体内部两侧均安装有冷却机构。

优选的，所述上磁铁和下磁铁磁性相异。

优选的，所述抽气管道采用软质伸缩管道。

优选的，所述滑杆的顶部安装有限位块。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型的壳体上方两侧分别安装有螺杆和滑杆，电机带动螺杆转动，从而带动壳盖上下移动，通过滑杆上的刻度线可以测量壳盖的具体高度，方便快捷，便于添加原料；同时，当壳盖合上时正好上磁铁与下磁铁相吸，对抽气管道进行固定，方便进行后续抽真空操作；

本实用新型的壳体内部安装有气体密度传感器，当检测到壳体内部的气体减少到一定程度后，开启进气管道上的电磁阀，将惰性气体放入壳体内，降低设备能耗和蓝宝石生产把成本。

本实用新型具有使用方便、操作简单、自动化程度高等优点。

附图说明

图1为本实用新型主视结构示意图。