[实用新型]一种氨中微量硅烷检测分析装置

权利要求书

1.一种氨中微量硅烷检测分析装置，其特征在于，包括：检测盘（1），检测盘（1）的外圆壁面开设有六个进样孔（2），六个所述进样孔（2）分别依次为第一接口、第二接口、第三接口、第四接口、第五接口和第六接口，所述进样孔（2）的内圆壁面固定套设有吹扫阀（3），所述检测盘（1）的顶面开设有转动孔（6）；连接管（4），所述连接管（4）固定连接在所述吹扫阀（3）的一端，所述连接管（4）远离所述吹扫阀（3）的一端开设有密封槽（5）；检测组件，所述检测组件设置在所述吹扫阀（3）的一端，用于检测气体。

2.根据权利要求1所述的一种氨中微量硅烷检测分析装置，其特征在于，所述检测组件包括：保护管（21），所述保护管（21）设置在检测盘（1）的外圆壁面，所述保护管（21）的内圆壁面连接有色谱柱，所述保护管（21）远离所述检测盘（1）的一端连接有检测壳（22），检测壳（22）的内部连接有PDHIDD脉冲氦离子检测器；转动管（20），所述转动管（20）活动套设在所述保护管（21）的外圆壁面，所述保护管（21）的外圆壁面连接有密封板（19），所述密封板（19）靠近所述连接管（4）的一端连接有密封垫（18），所述密封垫（18）与所述密封槽（5）活动套设，所述转动管（20）与位于第六连接口内吹扫阀（3）一端的连接管（4）螺纹连接；气体置换件，所述气体置换件设置在所述检测盘（1）的内部，用于置换不同的气体。

3.根据权利要求2所述的一种氨中微量硅烷检测分析装置，其特征在于，所述气体置换件包括：三个连通块（10），三个所述连通块（10）均设置在所述检测盘（1）的内部，所述连通块（10）的外圆壁面开设有两个连通孔（11），所述连通孔（11）与所述进样孔（2）的位置相对应；定量管（12），定量管（12）设置在检测盘（1）的外圆壁面，定量管（12）的一端与位于第一接口内部吹扫阀（3）的位置相对应，定量管（12）的另一端与位于第三接口内部吹扫阀（3）的位置相对应；转动棒（8），所述转动棒（8）设置在所述检测盘（1）的内部，所述转动棒（8）与所述转动孔（6）的位置相对应，所述转动棒（8）的外圆壁面连接有三个连接块（9），三个所述连接块（9）均等角度固定连接在所述转动棒（8）的外圆壁面，所述连接块（9）远离所述转动棒（8）的一侧固定连接在所述连通块（10）的内圆壁面。

4.根据权利要求1所述的一种氨中微量硅烷检测分析装置，其特征在于，所述转动孔（6）的内部活动套设有转动块（7）。

5.根据权利要求3所述的一种氨中微量硅烷检测分析装置，其特征在于，所述定量管（12）的外圆壁面活动活动套设有两个固定棒（13），所述固定棒（13）的一端开设有滑动孔（14），所述定量管（12）的左右两端均固定连接有侧板（15），所述侧板（15）远离所述定量管（12）的一端连接有密封环（16）。

6.根据权利要求1所述的一种氨中微量硅烷检测分析装置，其特征在于，所述吹扫阀（3）远离连接管（4）的一端连接有连接环（17）。