[实用新型]一种用于大型真空镀膜机的储备工件挂板梅花转架

说明书

一种用于大型真空镀膜机的储备工件挂板梅花转架，真空镀膜机内设有相邻的过渡舱及镀膜工艺舱，两者之间设有插板阀分隔；镀膜工艺舱内设有工艺转架，其为一个竖立的多边形柱体壳，固定在工艺转架垂直回转轴上，柱体壳侧面的每一面上设有可钩挂工件挂板的挂钩；过渡舱内设有储备工件挂板梅花转架，其固定在梅花转架垂直回转轴上，梅花转架上设有竖立的工件挂板固定架，工件挂板固定架上可钩挂工件挂板，工件贴在工件挂板外侧；固定架拉出机构，用于将工件挂板固定架沿滑轨拉出梅花转架外；移动传送工件挂板机械手，用于将工件挂板在过渡舱和工艺舱之间来回移动传送。本机结构简化、造价降低、使用方便、故障率低。

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜机内设机构，具体是涉及一种用于大型真空镀膜机的储备工件挂板梅花转架。

背景技术

真空镀膜设备的技术发展趋势，一是提高产能和效率，二是提高镀膜产品质量和稳定性。要提高产能和效率，使得设备设计越来越大，装载量越来越多，单只工件挂具也越大、越重；要提高膜层质量和稳定性，除了引入镀膜新技术、新工艺外，一个最基本的要求是控制好炉内镀膜气氛稳定不变，也就是要保证每炉炉内残留气体降低至最少并保持一致性不变。为此，最有效手段是在各炉次镀膜和装卸工件都在真空中进行而不破真空，这样各炉次都在同样真空环境下进行镀膜，炉内气氛不因破真空受大气污染，可保持炉间残留气氛的一致性，这样膜层质量和一致性都会大大提高。

因此，近年来真空镀膜设备的发展一方面是大型化，另一方面是多舱化。多舱配置时，其中镀膜工艺舱室始终保持真空状态，它通过真空阀门与送料舱和出料舱连接，在真空状态下工件从送料舱送入镀膜舱，镀膜工艺完成后，在真空状态把工件移出到出料舱。一方面设备大型化，装挂工件的挂具数量多，挂具体积大，装挂上工件后的挂具重量很重。这些挂具在真空态状下传送转舱，必须靠机械手完成。为适应当前真空镀膜设备的发展趋势，需要研制适合各种用途的真空机械手。这样多舱式镀膜设备又要配置多台机械手，设备很复杂庞大，造价很高昂。

另外，多舱式镀膜机设计往往把送料舱和出料舱分开，分别需要有进料移动架和出料移动架，对应采用多台机械手，这样设计的设备结构复杂、造价高昂、使用不便、故障率高。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题，就是提供一种结构简单造价低、使用方便故障少的用于大型真空镀膜机的储备工件挂板梅花转架。

解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案如下：

一种用于大型真空镀膜机的储备工件挂板梅花转架，其特征是包括：

一支撑于梅花转架垂直回转轴8上的垂直中心支撑47，其上下对应地固定有水平的梅花转架上板46和梅花转架下板48，梅花转架上板的底面和对应的梅花转架下板顶面上，从回转轴心向外呈放射状设有若干沿半径方向延伸的竖板条，在上下竖板条的同一侧的固定有水平对应的梅花转架滑轨49；

一工件挂板固定架51，为一矩形竖板，其背面上、下端与梅花转架滑轨对应处设有固定且与梅花转架滑轨配合滑动连接的滑块50，竖板前立面四角设有挂钩9,用于钩挂工件挂板。

所述挂钩的设计应使得沿半径方向滑动拉出工件挂板固定架至取/挂工件挂板工位位置时，即工件挂板位于圆形的梅花转架外侧方便取下。

所述工件挂板固定架下端的外侧边沿固连有一拉出块52，其上钻有垂直的拉出孔。

所述工件挂板固定架上可钩挂工件挂板，需镀膜的工件贴在工件挂板外侧。

所述真空镀膜机内设有相邻的过渡舱4及镀膜工艺舱1，两者之间设有插板阀2以插板阀阀板3分隔；

所述镀膜工艺舱内设有：

工艺转架5，其为一个竖立的多边形柱体壳，固定在带驱动机构的工艺转架垂直回转轴6上，柱体壳侧面的每一面上设有可挂钩工件挂板Ⅰ的四个挂钩9；

所述过渡舱内设有：