[实用新型]一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置

权利要求书

1.一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置，其特征在于，包括净化桶（1），所述净化桶（1）内竖向设置有滤筒（2），所述滤筒（2）内竖向安装有第一导气管（3），所述第一导气管（3）底部穿过所述滤筒（2）底部和所述净化桶（1）底部并伸出，所述滤筒（2）与所述第一导气管（3）固定连接，所述第一导气管（3）的外壁上均匀连通设置有多个扁平状散气通道（4），所述扁平状散气通道（4）的外端穿过所述滤筒（2）并伸入至所述净化桶（1）内；

所述第一导气管（3）的内部滑动安装有第二导气管（5），所述第二导气管（5）的底部伸出至所述滤筒（2）的外侧，所述第二导气管（5）的外壁上安装有第一安装板（6），所述第一安装板（6）的外端固定在所述净化桶（1）的底部；

所述滤筒（2）的顶部连通设置有第三导气管（7），所述第三导气管（7）顶部穿过所述净化桶（1）顶部并伸出，所述第三导气管（7）与所述净化桶（1）滑动连接，所述第三导气管（7）内滑动设置有第四导气管（8），所述第四导气管（8）的顶部伸出至所述第三导气管（7）的外侧，并且所述第四导气管（8）的外壁上安装有第二安装板（9），所述第二安装板（9）的外端固定在所述净化桶（1）的顶部；

其中，所述第三导气管（7）上安装有振动机构，所述第一导气管（3）上安装有动力机构。

2.如权利要求1所述的一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置，其特征在于，所述振动机构包括套设在所述第三导气管（7）外侧的固定环（10），所述固定环（10）固定在所述净化桶（1）的顶部，所述第三导气管（7）的外壁上套装固定有转动环（11），所述转动环（11）底部和所述固定环（10）顶部均匀设置有斜齿，所述转动环（11）上的齿与所述固定环（10）上的齿啮合连接；

所述转动环（11）的圆周外壁上转动套装有支撑环（12），所述支撑环（12）的外壁上均匀安装有多张板簧（13）。

3.如权利要求2所述的一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置，其特征在于，所述支撑环（12）的外壁上均匀安装有多个导向套（14），所述导向套（14）上竖向滑动安装有导向杆（15）。

4.如权利要求3所述的一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置，其特征在于，所述净化桶（1）的圆周内壁上设置有螺旋板（16），所述螺旋板（16）的截面倾斜。

5.如权利要求4所述的一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置，其特征在于，所述滤筒（2）的外壁上滑动套装有同步套（17），所述同步套（17）转动安装在所述净化桶（1）内壁底部，所述滤筒（2）外壁上均匀开设有多个竖向滑槽，所述同步套（17）内壁上均匀设置有多个竖向滑棱，并且滑棱滑动位于滑槽内；

所述同步套（17）的外壁均匀安装有多张弧形刮板（18）。

6.如权利要求5所述的一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置，其特征在于，所述净化桶（1）的外壁上安装有收集仓（19），所述收集仓（19）与所述净化桶（1）内部连通，所述收集仓（19）的内侧壁上倾斜安装有两张逆向阻挡板（20），并且两张逆向阻挡板（20）的倾斜方向相反，两张逆向阻挡板（20）位置交错；

所述收集仓（19）底部开设有通口，并且通口上盖装有盖板（21）。

7.如权利要求6所述的一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置，其特征在于，所述动力机构包括安装在所述第一导气管（3）外壁上的齿轮（22），所述齿轮（22）位于所述净化桶（1）下方，所述齿轮（22）上啮合设置有齿柱（23），所述齿柱（23）的顶部转动安装在所述净化桶（1）的底部，所述齿柱（23）的底部安装有电机（24），所述电机（24）的侧壁上安装有第三安装板（25），所述第三安装板（25）的外端固定在所述净化桶（1）底部。

8.如权利要求7所述的一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置，其特征在于，还包括挡罩（26），所述挡罩（26）位于动力机构的外侧，所述挡罩（26）安装在所述净化桶（1）底部，所述第二导气管（5）的底部穿过所述挡罩（26）。