[实用新型]一种半导体行业氦气回收用有毒气体净化机构有效
| 申请号： | 202122136508.2 | 申请日： | 2021-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN215742833U | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 陶永贵 | 申请（专利权）人： | 苏州咏昕恒能源科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78 |
| 代理公司： | 六安市新图匠心专利代理事务所(普通合伙) 34139 | 代理人： | 陈斌 |
| 地址： | 215228 江苏省苏州市吴江区盛泽镇*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 行业 氦气 回收 有毒气体 净化 机构 | ||
1.一种半导体行业氦气回收用有毒气体净化机构，包括第一净化器(1)，其特征在于，所述第一净化器(1)一侧设置有温控组件(2)，且温控组件(2)包括设置于第一净化器(1)一侧的加热箱(21)、通过导线连接于加热箱(21)一端外壁上分控开关(22)、通过导线连接于分控开关(22)一侧外壁上的等距离分布的加热器(23)；
所述第一净化器(1)一端设置有干燥箱(3)，且干燥箱(3)内壁设置有干燥组件(4)，所述干燥组件(4)包括设置于干燥箱(3)内壁上的对称分布的海绵(41)、设置于两个海绵(41)之间的氯化钙干燥剂(42)、设置于氯化钙干燥剂(42)一端的活性炭(43)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体行业氦气回收用有毒气体净化机构，其特征在于，所述干燥箱(3)内壁安装有对称分布的安装架(5)，且氯化钙干燥剂(42)和活性炭(43)均设置于安装架(5)的内壁上。
3.根据权利要求1所述的一种半导体行业氦气回收用有毒气体净化机构，其特征在于，所述第一净化器(1)顶部外壁连接有连接管(6)，且连接管(6)一端外壁连接有第二净化器(7)，第二净化器(7)通过连接管(6)连接有第三净化器(8)。
4.根据权利要求1所述的一种半导体行业氦气回收用有毒气体净化机构，其特征在于，所述第一净化器(1)、第二净化器(7)和第三净化器(8)一侧外壁均安装有安装箱(9)，且加热器(23)安装在安装箱(9)的内壁上，第一净化器(1)、第二净化器(7)和第三净化器(8)顶部外壁均安装有温度传感器(10)。
5.根据权利要求1所述的一种半导体行业氦气回收用有毒气体净化机构，其特征在于，所述第一净化器(1)底部外壁连接有进气管(11)，且第一进气管(11)一端外壁安装有第一接口(12)。
6.根据权利要求1所述的一种半导体行业氦气回收用有毒气体净化机构，其特征在于，所述干燥箱(3)一端外壁连接有出气管(13)，且出气管(13)一端外壁安装有第二接口(14)。
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