[实用新型]一种基于衍射光栅器件的自动对准装置有效
申请号: | 202122138219.6 | 申请日: | 2021-09-06 |
公开(公告)号: | CN215769164U | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
发明(设计)人: | 周杰;张琪;符友银;李俊毅 | 申请(专利权)人: | 安徽睿芯半导体科技有限公司 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00;G01J3/02 |
代理公司: | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人: | 侯克邦 |
地址: | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 衍射 光栅 器件 自动 对准 装置 | ||
1.一种基于衍射光栅器件的自动对准装置,其特征在于,包括:
框架(1),所述框架(1)的上开设有圆形开槽;
外齿圆(2),所述外齿圆(2)位于框架(1)的圆形开槽内;
从动齿轮(3),所述从动齿轮(3)的数量为至少为三个,且从动齿轮(3)与外齿圆(2)啮合并将其固定;
旋转驱动组件,所述旋转驱动组件与其中一个从动齿轮(3)连接,并驱动其旋转;
夹紧组件,所述夹紧组件安装在外齿圆(2)的内壁上,用于对衍射光栅器件(6)进行夹紧固定。
2.根据权利要求1所述的一种基于衍射光栅器件的自动对准装置,其特征在于,所述旋转驱动组件包括主动齿轮(4)和第一电机(5),所述主动齿轮(4)与第一电机(5)的输出轴键连接。
3.根据权利要求2所述的一种基于衍射光栅器件的自动对准装置,其特征在于,所述主动齿轮(4)的直径和齿数均小于从动齿轮(3)。
4.根据权利要求1所述的一种基于衍射光栅器件的自动对准装置,其特征在于,所述夹紧组件包括:
垫块(7),所述垫块(7)等距离环绕设置在外齿圆(2)的内壁上;
转轴(9),所述转轴(9)的两端均转动连接在外齿圆(2)上;
第二电机(8),所述第二电机(8)的输出轴与转轴(9)固定连接;
翻转压块(10),所述翻转压块(10)固定在转轴(9)上;
所述翻转压块(10)和垫块(7)共同对衍射光栅器件(6)进行夹紧。
5.根据权利要求4所述的一种基于衍射光栅器件的自动对准装置,其特征在于,当所述转轴(9)的数量为两个及以上时,所述转轴(9)之间通过传动机构(11)连接。
6.根据权利要求5所述的一种基于衍射光栅器件的自动对准装置,其特征在于,所述传动机构(11)采用锥齿轮组。
7.根据权利要求4所述的一种基于衍射光栅器件的自动对准装置,其特征在于,所述垫块(7)上固定连接有与翻转压块(10)位置对应的垫板(12)。
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