[实用新型]一种具有弹性缓冲结构的掩膜版有效
| 申请号： | 202122140393.4 | 申请日： | 2021-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN215481218U | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 张明华;黄国章;张明国 | 申请（专利权）人： | 福州金珂光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 重庆上义众和专利代理事务所(普通合伙) 50225 | 代理人： | 孙人鹏 |
| 地址： | 350200 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 弹性 缓冲 结构 掩膜版 | ||
1.一种具有弹性缓冲结构的掩膜版，包括掩膜版本体(1)，所述掩膜版本体(1)两侧对称设置两组承接板(3)，所述承接板(3)上对称设置两组定位销(4)，掩膜版本体(1)上对称内置四组定位孔(5)，所述定位孔(5)滑动连接定位销(4)，其特征在于：所述承接板(3)位于具有缓冲功能的框架(2)上；
所述框架(2)包括框架主体(201)，所述框架主体(201)上对称设置两组矩形孔(202)，所述矩形孔(202)内设置导柱(203)，所述导柱(203)滑动连接压板(204)，所述压板(204)上设置缓冲机构(206)，所述缓冲机构(206)两侧对称设置两组矩形槽(205)，所述压板(204)一端固定连接承接板(3)。
2.根据权利要求1所述的一种具有弹性缓冲结构的掩膜版，其特征在于：所述缓冲机构(206)包括弹性钢条(2061)，所述弹性钢条(2061)设置两组，两组所述弹性钢条(2061)对称分布在压板(204)两侧，弹性钢条(2061)中部连接滑杆(2064)，弹性钢条(2061)两端对称设置两组安装槽(2063)，所述安装槽(2063)内设置滑轮(2062)。
3.根据权利要求1所述的一种具有弹性缓冲结构的掩膜版，其特征在于：所述压板(204)上设置通孔一，所述通孔一滑动连接导柱(203)，所述框架主体(201)两侧对设置两组腔体，所述缓冲机构(206)位于腔体内。
4.根据权利要求3所述的一种具有弹性缓冲结构的掩膜版，其特征在于：所述腔体内两侧对称设置两组通孔二，所述通孔二滑动连接滑杆(2064)。
5.根据权利要求2所述的一种具有弹性缓冲结构的掩膜版，其特征在于：所述滑轮(2062)中部连接销轴，所述销轴两端设置两组轴承，所述轴承嵌入安装槽(2063)侧壁。
6.根据权利要求2所述的一种具有弹性缓冲结构的掩膜版，其特征在于：所述滑轮(2062)的轮宽等于矩形槽(205)的槽宽，滑轮(2062)滑动连接矩形槽(205)。
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