[实用新型]一种磁控溅射技术制备的生物性TiN薄膜用杀菌设备

权利要求书

1.一种磁控溅射技术制备的生物性TiN薄膜用杀菌设备，包括消毒结构(1)、降温结构(2)和加热结构(3)，其特征在于，所述消毒结构(1)包括消毒箱(4)、转动连接在消毒箱(4)顶部内壁两端的转动辊(5)、转动连接在消毒箱(4)一侧内壁底部的两根从动辊(7)、套接在转动辊(5)一端的皮带轮、连接在皮带轮之间的皮带、安装在消毒箱(4)一侧外壁的电机(6)、焊接在消毒箱(4)底部内壁两侧和顶部内壁中心处的消毒架(8)和安装在消毒架(8)中的紫外线灯(24)。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射技术制备的生物性TiN薄膜用杀菌设备，其特征在于，所述降温结构(2)包括降温箱(11)、安装在降温箱(11)底部一侧内壁的水箱(12)、安装在水箱(12)底部内壁的加热丝(13)、焊接在水箱(12)一侧外壁顶部的制冷盒(14)、开设在制冷盒(14)一侧外壁的凹槽、密封安装在凹槽中的第一导热板(15)、安装在第一导热板(15)外壁的半导体制冷片(16)、固定在半导体制冷片(16)一侧外壁的第二导热板(17)、安装在降温箱(11)底部内壁的水泵(18)和安装在降温箱(11)一侧内壁的风扇。

3.根据权利要求2所述的一种磁控溅射技术制备的生物性TiN薄膜用杀菌设备，其特征在于，所述第一导热板(15)的一端延伸进制冷盒(14)的内部，且水泵(18)的输出端与制冷盒(14)连通，所述水泵(18)的输入端与水箱(12)的内部连通，且制冷盒(14)通过水管与水箱(12)连通，所述水箱(12)的顶部通过导管与消毒箱(4)的内部连通。

4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射技术制备的生物性TiN薄膜用杀菌设备，其特征在于，所述加热结构(3)包括加热箱(19)、安装在加热箱(19)一侧内壁的风机(20)、焊接在加热箱(19)底部内壁的隔热箱(21)、安装在隔热箱(21)中的加热管(22)和连接在加热箱(19)顶部的进气管(23)。

5.根据权利要求4所述的一种磁控溅射技术制备的生物性TiN薄膜用杀菌设备，其特征在于，所述风机(20)的输出端与隔热箱(21)的内部连通，且隔热箱(21)通过管道与水箱(12)的内部连通，管道中套接有单项阀，所述进气管(23)中套接有过滤网。

6.根据权利要求1所述的一种磁控溅射技术制备的生物性TiN薄膜用杀菌设备，其特征在于，所述电机(6)的输出轴与转动辊(5)一端的皮带轮一侧外壁焊接，且消毒箱(4)的一侧外壁铰接有箱门(9)，所述消毒箱(4)的顶部一侧连接有出气管(10)。

7.根据权利要求4所述的一种磁控溅射技术制备的生物性TiN薄膜用杀菌设备，其特征在于，所述风机(20)、加热管(22)、水泵(18)、半导体制冷片(16)、加热丝(13)、电机(6)和紫外线灯(24)通过导线连接开关，且开关通过导线连接电源。