[实用新型]碳化硅微反应器机组用链接器

权利要求书

1.一种碳化硅微反应器机组用链接器，包括两根以上的流道管（3），其特征在于：相邻两流道管（3）之间设有双头链接管（7），双头链接管（7）两端与相邻两流道管（3）之间分别设有密封件（5），双头链接管（7）外侧设有过盈配合的双头空心螺栓（6），密封件（5）通过与双头空心螺栓（6）配合的螺母（4）锁紧。

2.根据权利要求1所述的碳化硅微反应器机组用链接器，其特征在于：所述双头链接管（7）两端分别设有与相邻两流道管（3）同轴的锥形环槽（8），密封件（5）为环形锥度堵头，环形锥度堵头与锥形环槽（8）相配合。

3.根据权利要求2所述的碳化硅微反应器机组用链接器，其特征在于：所述流道管（3）上远离双头链接管（7）的一端设有空心螺栓（2），空心螺栓（2）外端面上设有螺纹，空心螺栓（2）通过螺纹与锁紧螺母（1）配合。

4.根据权利要求2或3所述的碳化硅微反应器机组用链接器，其特征在于：所述流道管（3）、双头链接管（7）和密封件（5）均采用可溶性聚四氟乙烯PFA制作而成。