[实用新型]一种可装配于镀膜机及用于镀膜版架的搬运装置

说明书

本实用新型公开了一种可装配于镀膜机及用于镀膜版架的搬运装置，包括车架以及安装于车架顶部的转动辊组件、导向轮和固定装置、转动辊组件和导向轮各有若干个，若干个转动辊组件之间沿车架的长度方向呈并排且间隔地布置，相邻的两个转动辊组件之间均安装有导向轮，导向轮呈可转动地安装于车架上，转动辊组件的转动中轴线沿车架的宽度方向布置，导向轮的转动中轴线沿车架的高度方向布置，固定装置安装于转动辊组件的前方和/或后方以用于将放置于该车架上的镀膜版架进行锁定或者释锁。本实用新型的通过以上结构可以实现对镀膜版架的搬运过程中进行滑动、导向、锁定或者释锁，极大地简便了搬运的过程，且有效提高了搬运效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造的技术领域，具体涉及一种可装配于镀膜机及用于镀膜版架的搬运装置。

背景技术

近年来，随着电子信息技术的快速发展，电子产品更新换代的速度也随之加快，智能手机、平板电脑、数码相机，5G技术等产品的销量也在持续增长，这给半导体芯片、半导体显示、PCB、触控等电子元器件的相关行业带来了大份额的市场空间。掩膜版在下游电子元器件制造中起着纽带的作用，是电子制造中的图形转移的母版，是下游产品质量的重要因素。随着消费者对产品的要求逐步提高，对掩膜版的精度也在不断增加；光掩膜基版作为掩膜版的基版，其精度要求会更趋向精细化，高精度的掩膜基版对生产中的环境要求极高。

而磁控溅射作为光掩膜基版的主要工艺，其对生产环境有着及其严格的要求，需在高度洁净的车间进行镀膜。镀膜所应用到的镀膜用具一般包括镀膜版架，而镀膜版架则需要无油以及无污染，因此进入到镀膜腔体内才能保证产品的质量及性能。一般而言，掩膜基版在生产过程中采用的是卧式镀膜机，包括上料台、腔体以及下料台，大部分镀膜版版架较重,人工搬运较为吃力，易发生碰撞而造成污染，继而影响产品的品质，且无尘车间空间有限，这就导致了使用人手进行转移的搬运不便利。

因此，亟需一种可装配于镀膜机及用于镀膜版架的搬运装置来解决上述问题。

实用新型内容

本项实用新型是针对现在的技术不足，提供一种可装配于镀膜机及用于镀膜版架的搬运装置。

本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是：

一种可装配于镀膜机及用于镀膜版架的搬运装置，包括车架以及安装于所述车架顶部的转动辊组件、导向轮和固定装置、所述转动辊组件和所述导向轮各有若干个，若干个所述转动辊组件之间沿所述车架的长度方向呈并排且间隔地布置，相邻的两个所述转动辊组件之间均安装有所述导向轮，所述导向轮呈可转动地安装于所述车架上，所述转动辊组件的转动中轴线沿所述车架的宽度方向布置，所述导向轮的转动中轴线沿所述车架的高度方向布置，所述固定装置安装于所述转动辊组件的前方和/或后方以用于将放置于该车架上的镀膜版架进行锁定或者释锁。

作进一步改进，所述车架包括主体框架、定位轮以及万向轮，所述转动辊组件、所述导向轮以及所述固定装置均安装于所述主体框架的顶部，所述定位轮和所述万向轮各有两个，两个所述定位轮呈相对立地安装于所述主体框架的底部之一侧，两个所述万向轮呈相对立地安装于所述主体框架的底部之另一侧。

作进一步改进，所述固定装置为定位插销。

作进一步改进，所述主体框架的顶部安装面呈矩形，所述固定装置有四个，且所述固定装置分别位于所述主体框架的四个角落位置处。

作进一步改进，所述车架还包括供操作人员推拉所述主体框架用的推拉把手，所述推拉把手安装于所述主体框架上，且所述推拉把手位于所述转动辊组件的前方和/或后方。

作进一步改进，所述推拉把手与所述转动辊组件呈相互平行地布置。

作进一步改进，所述导向轮包括圆柱部以及锥台部，所述圆柱部的顶面与所述锥台部的底面相接，所述圆柱部的底面呈可转动地安装于所述主体框架上。

作进一步改进，所述导向轮沿所述主体框架的宽度方向呈两两相对立地布置。