[实用新型]一种大型TFT-LCD光掩膜基版用高精度旋涂机有效
| 申请号： | 202122153149.1 | 申请日： | 2021-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN215599504U | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 李由根;李娜;萧训山;刘丹;吴婷 | 申请（专利权）人： | 东莞市宏诚光学制品有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F1/68;G02F1/13 |
| 代理公司： | 东莞卓为知识产权代理事务所(普通合伙) 44429 | 代理人： | 齐海迪 |
| 地址： | 523383 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 大型 tft lcd 光掩膜基版用 高精度 旋涂机 | ||
1.一种大型TFT-LCD光掩膜基版用高精度旋涂机，其特征在于：包括机架、顶针组件、紧固圈、压块以及电磁力控制装置，所述顶针组件呈可活动地安装于所述机架上，所述电磁力控制装置安装于所述顶针组件的下方以用于将所述顶针组件朝所述机架的下方进行吸拉，所述压块位于所述电磁力控制装置的上方并开设有供所述顶针组件的顶针穿过用的安装孔，所述紧固圈安装于所述安装孔内以对位于该紧固圈上方的区域进行密封。
2.根据权利要求1所述的大型TFT-LCD光掩膜基版用高精度旋涂机，其特征在于：还包括用于将所述压块固定于所述机架上的紧固螺丝，所述压块开设有与所述紧固螺丝呈螺纹配合的紧固孔。
3.根据权利要求2所述的大型TFT-LCD光掩膜基版用高精度旋涂机，其特征在于：所述紧固孔有两个，两个所述紧固孔以所述安装孔为中心呈中心对称地布置，所述紧固螺丝与所述紧固孔呈一一对应地布置。
4.根据权利要求2所述的大型TFT-LCD光掩膜基版用高精度旋涂机，其特征在于：还包括用于将所述压块相对所述机架进行一定角度调节的调节螺丝，所述压块开设有与所述调节螺丝呈螺纹配合的调节孔。
5.根据权利要求4所述的大型TFT-LCD光掩膜基版用高精度旋涂机，其特征在于：所述调节孔有四个，四个所述调节孔以两个所述紧固孔间的连线为轴心呈左右对称地布置，所述调节螺丝与所述调节孔呈一一对应地布置。
6.根据权利要求1所述的大型TFT-LCD光掩膜基版用高精度旋涂机，其特征在于：所述安装孔的孔径、所述紧固圈的内径以及所述顶针的直径呈由大至小地布置。
7.根据权利要求1所述的大型TFT-LCD光掩膜基版用高精度旋涂机，其特征在于：所述紧固圈是O型氟橡胶圈。
8.根据权利要求1所述的大型TFT-LCD光掩膜基版用高精度旋涂机，其特征在于：所述电磁力控制装置包括两个于水平方向上呈平行布置的24V通电磁铁。
9.根据权利要求1所述的大型TFT-LCD光掩膜基版用高精度旋涂机，其特征在于：所述压块为一体式的航空铝合金块。
10.根据权利要求1所述的大型TFT-LCD光掩膜基版用高精度旋涂机，其特征在于：所述压块上还设置有供所述紧固圈卡合固定的环形凹槽，所述环形凹槽与所述安装孔相连通。
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