[实用新型]一种带有检测功能的镀膜设备

说明书

本实用新型公开了一种带有检测功能的镀膜设备，包括支撑密封底座，所述支撑密封底座的外侧固定安装有镀膜腔体，所述镀膜腔体的上端面固定安装有真空抽气盖，所述镀膜腔体中部的外侧固定安装有检测机构，所述检测机构包括取样罐体、导流套环、密封连接环、增温保持环、导流套管和检测座，所述密封连接环的外侧固定安装有导流套环，所述导流套环的内部设置有两个增温保持环，所述导流套环的外侧均匀安装有八个导流套管，所述导流套管一端的外侧安装有取样罐体，所述取样罐体的内部设置有检测座，所述支撑密封底座上端面的中部安装有密封框架。本实用新型通过对镀膜原料蒸发后进行多方位监测，有效保证镀膜质量。

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体为一种带有检测功能的镀膜设备。

背景技术

随着社会经济的快速发展，半导体材料的应用越来越广，半导体材料在使用时有时需要在外部镀上特定材质的膜以对其进行保护，常见的半导体镀膜方法包括PVD镀膜(物理镀膜)、CVD镀膜(化学镀膜)离子镀膜等，而物理镀膜主要利用加热可蒸发的镀膜原料，使其转化成蒸汽，并附着在半导体材料表面，从而达到镀膜的效果。

但是，现有的对材料进行蒸发镀膜过程中不便于对镀膜原料的蒸发质量进行检测，进而不能够保证镀膜质量；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种带有检测功能的镀膜设备。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种带有检测功能的镀膜设备，以解决上述背景技术中提出的现有的对材料进行蒸发镀膜过程中不便于对镀膜原料的蒸发质量进行检测，进而不能够保证镀膜质量等问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带有检测功能的镀膜设备，包括支撑密封底座，所述支撑密封底座的外侧固定安装有镀膜腔体，所述镀膜腔体的上端面固定安装有真空抽气盖，所述镀膜腔体中部的外侧固定安装有检测机构，所述检测机构包括取样罐体、导流套环、密封连接环、增温保持环、导流套管和检测座，所述密封连接环的外侧固定安装有导流套环，所述导流套环的内部设置有两个增温保持环，所述导流套环的外侧均匀安装有八个导流套管，所述导流套管一端的外侧安装有取样罐体，所述取样罐体的内部设置有检测座，所述支撑密封底座上端面的中部安装有密封框架，所述密封框架的内侧安装有补充导流板，所述密封框架的外侧均匀安装有八个导向套筒，所述导向套筒的内部滑动连接有镀膜件安装盘，八个所述镀膜件安装盘的底端固定安装有连接安装架。

优选的，所述支撑密封底座与镀膜腔体通过螺钉连接固定，所述导向套筒与支撑密封底座焊接固定，所述镀膜件安装盘与导向套筒通过密封圈连接。

优选的，所述连接安装架的上端延伸至导向套筒的内侧通过螺钉与镀膜件安装盘连接，所述镀膜件安装盘的上端面设置有镀膜件放置槽。

优选的，所述补充导流板与支撑密封底座通过密封框架连接，所述补充导流板中部的内侧设置有进料槽。

优选的，所述密封连接环与镀膜腔体通过螺钉连接固定，所述导流套环与镀膜腔体通过密封连接环连接。

优选的，所述导流套管的一端贯穿取样罐体的一端通过螺纹与导流套环连接，所述取样罐体、导流套管、导流套环和镀膜腔体均贯通连接。

优选的，所述增温保持环与导流套环通过螺钉连接固定，所述增温保持环的内侧设置有电热阻丝。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过连接安装架带动八个镀膜件安装盘在导向套筒的内侧进行滑动，进而便于同时对八个镀膜件进行安装，镀膜件安装盘与导向套筒通过密封圈连接，有效保证支撑密封底座的密封性，通过补充导流板将镀膜原料蒸发输送至镀膜腔体的内侧，使得能够快速对镀膜件进行镀膜操作；

2、本实用新型通过取样罐体、导流套管、导流套环和镀膜腔体的内部均贯通连接，使得通过导流套环和导流套管的输送，能够同时在八个方位对镀膜原料进行导流，进而通过检测座便于对镀膜过程进行实时监测。